[發明專利]應用于紡織品彩色漸變磁控濺射卷繞鍍覆的方法

有效

• 申請號: 201410714517.7
• 申請日: 2014-11-28
• 公開（公告）號: CN104389158A
• 公開（公告）日: 2015-03-04
• 發明（設計）人: 姜綬祥;江紅;余榮沾
• 申請（專利權）人: 廣東欣豐科技有限公司
• 主分類號: D06M11/83
• 分類號: D06M11/83;C23C14/35
• 代理公司: 深圳市中知專利商標代理有限公司 44101
• 代理人: 呂曉蕾

1.一種應用于紡織品彩色漸變磁控濺射卷繞鍍覆的方法，其特征在于它包括如下的步驟：

首先，準備好金屬靶材，靶材為銅靶、鈦靶、不銹鋼靶和銀靶，將靶材及倉體用吸塵器清理干凈，靶材的壁厚≥2～3mm、冷卻水的流量為50～100m³/h，水壓≥0.2MPa、半開回流水管的回流閥，然后開電和開氣等動力源，采用JPL-650磁控濺射卷繞鍍膜機進行鍍覆，鍍覆溫度設置范圍180～280℃，采用DC/磁控濺射沉積模式鍍覆，設置4個靶位，既銅靶、鈦靶、不銹鋼靶和銀靶分別進行單靶位鍍覆或者多靶位鍍覆；所述的銅靶、鈦靶和不銹鋼靶的磁控鍍覆電流為：0.1～9A,銀靶的磁控鍍覆電流為：0.1～2A；工作氣體為氬氣，或者氬氣和氧氣同時使用，所述的氬氣流量為60～170Sccm，氧氣流量為30～160Sccm；真空鍍膜壓強為8×10^-4Pa～8×10^-3Pa，鍍膜工作壓強為1×10^-1Pa～2×10^-1Pa；工作壓力為：≥2×10^-1Pa；鍍膜車速為0.1～15米/分鐘，紡織品鍍覆幅寬0.1～0.7米，采用同步離子源電流：0.03～0.5A。

2.如權利要求1中所述的應用于紡織品彩色漸變磁控濺射卷繞鍍覆的方法，其特征在于所述的鍍覆車速為0.1-1.0米/分鐘時，濺射靶的磁控電流如下：銅靶3～9A，鈦鈀3～9A，不銹鋼靶3～9A，銀靶1～2A，各個濺射靶的總電流小于超過10A；所述的鍍膜車速≥3米/分鐘時，濺射靶的磁控電流如下：銅靶0～2A，鈦鈀0～2A，不銹鋼靶0～2A，銀靶0～0.5A，各個濺射靶的總電流小于10A，采用氬氣為工作氣體，流量為60～170Sccm。

3.如權利要求1中所述的應用于紡織品彩色漸變磁控濺射卷繞鍍覆的方法，其特征在于所述的鍍膜車速為0.1-1.0米/分鐘，濺射靶的磁控電流如下：銅靶3～9A，鈦靶3～9A，不銹鋼靶3～9A，銀靶1～2A，各個濺射靶的總電流小于超過10A；所述的鍍膜車速≥3米/分鐘，濺射靶的磁控電流如下：銅靶0～1A，鈦鈀0～1A，不銹鋼靶0～1A，銀靶0～0.5A，同樣各個濺射靶的總電流小于超過10A；采用氬氣和氧氣同時作為工作氣體：氬氣流量為60～170Sccm，氧氣流量為30～160Sccm，工作氣體壓力為≥2×10^-1Pa。

4.如權利要求1或2或3中所述的應用于紡織品彩色漸變磁控濺射卷繞鍍覆的方法，其特征在于所述的單靶位鍍覆為單一運行銅靶或鈦靶或不銹鋼靶或銀靶進行濺射。

5.如權利要求1或2或3中所述的應用于紡織品彩色漸變磁控濺射卷繞鍍覆的方法，其特征在于所述的多靶位鍍覆為同時運行兩個以上的靶位進行濺射。