[發明專利]靶材的脫焊方法

有效

• 申請號: 201410713274.5
• 申請日: 2014-11-28
• 公開（公告）號: CN105689832B
• 公開（公告）日: 2017-09-15
• 發明（設計）人: 姚力軍;潘杰;相原俊夫;大巖一彥;王學澤;袁海軍
• 申請（專利權）人: 寧波江豐電子材料股份有限公司
• 主分類號: B23K1/018
• 分類號: B23K1/018
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司11227
• 代理人: 高靜,駱蘇華

技術領域

本發明涉及半導體制造領域，尤其涉及一種靶材的脫焊方法。

背景技術

在真空濺鍍過程中，靶材是一種常用的物料，靶材通常為靶坯和背板焊接在一起而成。擴散焊接(Diffusion Bonding，DB)為現有技術常用的一種焊接靶材的方法，將焊件緊密貼合，在一定溫度和壓力下保持一段時間，使接觸面之間的原子相互擴散形成聯接的焊接方法。

擴散焊接形成的靶材，當出現焊接不良，無法達到真空濺鍍的標準要求時，靶材需要報廢處理，因此需要將靶材脫焊，即將靶坯和背板分開。由于靶坯使用的是高純材料，價值較高，所以一般會利用車削的辦法將靶材脫焊。

現有技術通常采用車削的方法脫焊，即將靶材的背板車削掉，而作為高純材料的靶坯則進行重復利用。在進行車削時容易對高純材料的靶坯造成損傷，所以脫焊后的靶材不能作為原來靶材進行重復利用，只能改做成更小尺寸的靶材，背板材料也無法重復利用。此外，車削工藝耗時較長，成本浪費較多。

因此，需要一種更加高效節約的擴散焊接靶材的脫焊方法，簡化現有靶材的脫焊過過程，提高靶材和背板的回收利用率。

發明內容

本發明解決的問題是提供一種靶材的脫焊方法，以簡化現有靶材的脫焊過過程，提高靶材和背板的回收利用率。

為解決上述問題，本發明提供一種靶材的脫焊方法，包括：

提供靶材，所述靶材包括靶坯和背板，所述靶坯內嵌焊接于所述背板中，內嵌焊接有所述靶坯的背板表面為背板正面，所述背板的另一面為背板背面；

提供油壓機，所述油壓機包括油壓機平臺和油壓機機頭；

將所述靶材懸空固定在油壓機平臺上，使靶坯朝向油壓機平臺且與油壓機平臺之間具有空隙；

用油壓機機頭對背板背面施加壓力至靶坯從背板中脫落。

可選的，所述背板正面包括邊緣區域和內嵌有靶坯的中心區域，將所述靶材懸空固定在油壓機平臺上的步驟包括：在所述背板正面的邊緣區域與油壓機平臺之間設置多個墊圈，使靶坯與油壓機平臺之間具有空隙。

可選的，所述靶坯和背板為矩形，所述靶坯露出于背板的表面與所述背板正面的邊緣區域的表面齊平，所述背板正面的邊緣區域為框形。可選的，所述多個墊圈在背板正面的邊緣區域上均勻分布。

可選的，所述墊圈的材料為金屬。

可選的，所述墊圈的高度在30-100mm的范圍內。

可選的，用油壓機機頭對背板背面施加壓力的步驟中，油壓機機頭對背板施加的壓力在100000牛到250000牛的范圍內。

可選的，在將所述靶材固定在油壓機平臺上之后，用油壓機機頭對背板施加壓力的步驟之前，在所述背板的背面放置墊板，在用油壓機機頭對背板施加壓力的步驟中，用油壓機機頭對所述墊板施加壓力，壓力通過墊板傳遞到背板上。

可選的，在所述背板的背面放置墊板的步驟中，將所述墊板放置于所述背板的背面中央，在用油壓機機頭對背板施加壓力的步驟中，用油壓機機頭對所述墊板中央施加壓力。

可選的，所述墊板的材料為鋁。

可選的，所述墊板的形狀設置為圓形，所述墊板的面積大于所述油壓機機頭的面積。

可選的，所述背板的材料為銅合金、不銹鋼合金或鈦合金。

可選的，在用油壓機機頭對背板施加壓力，至靶坯從背板中脫落之后，先對所述背板和靶坯進行平整處理，再對背板與靶坯的焊接面進行平滑處理。

可選的，對所述背板和靶坯進行平整處理的步驟中，采用所述油壓機機頭對所述背板和靶坯施加壓力，以使所述背板和靶坯被壓平。

與現有技術相比，本發明具有以下優點：將所述靶材懸空固定在油壓機平臺上，使靶坯朝向油壓機平臺且與油壓機平臺之間具有空隙；用油壓機機頭對背板背面施加壓力至靶坯從背板中脫落。本發明靶材的脫焊方法無需車削，直接采用壓力將靶坯從背板中取出，對靶坯的損傷較小，并且脫焊時間較短，工藝簡單。

附圖說明

圖1是本發明提供的靶材的脫焊方法的流程圖；

圖2是本發明靶材的脫焊方法一實施例的示意圖；

圖3是圖2所示實施例的俯視示意圖。

具體實施方式

如背景技術所述，現有的靶材的脫焊方法時間較長，對靶坯的損傷較大。

本發明提供一種靶材的脫焊方法，簡化現有靶材的脫焊過過程，提高靶材和背板的回收利用率。