[發明專利]一種提高產品良率的方法及系統

有效

• 申請號: 201410713121.0
• 申請日: 2014-11-28
• 公開（公告）號: CN105700490B
• 公開（公告）日: 2018-09-07
• 發明（設計）人: 郭騰沖;徐梅
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造（天津）有限公司;中芯國際集成電路制造（上海）有限公司
• 主分類號: G05B19/418
• 分類號: G05B19/418
• 代理公司: 上海申新律師事務所 31272
• 代理人: 俞滌炯

本發明提供了一種提高產品良率的方法及系統，利用ESB總線實現機臺恢復系統、數據庫(存儲有影響產品良率的案件)以及良率分析系統數據的集成，并將數據通過一數據轉換系統傳達至MES系統，進而準確的知道每個案件對良率的最終影響，為提升良率提供了依據；同時可對連續出現的潛在影響產品良率的案件進行重點追蹤和控制，進而更加有效的提升產品良率及生產效率。

技術領域

本發明涉及半導體制造領域，確切的說，涉及一種提高產品良率的方法及系統。

背景技術

集成電路制造生產過程中會出現各種各樣的情況而導致晶圓有可能出現缺陷，而能夠自動的獲取這些信息并且及時地進行分析處理，從而提高芯片在最后出貨時的良率一直是本領域技術人員所致力追求的目標。

在集成電路制造過程中，當遇到機臺報警或者停機，就需要通過機臺恢復系統(RRC)采取人工干預的方式，對沒有完全完成生產的lot進行特殊處理。但是這種特殊處理往往會對產品的良率產生很大影響，是一種潛在影響產品良率的案件。因此工程師需要記錄晶圓當時的具體信息并根據不同的情況來決策是否需要到相關部門做檢測，并根據檢測結果來對生產進行相應調整。但是由于人工記錄的局限性，不可避免會導致漏記、錯記的情況產生，從而導致將不合格的產品出到了客戶那邊，最終產生重大經濟損失。同時，錯誤的潛在影響產品良率的案件信息也會影響到產品質量的調優，以及后續技術分析。

目前，在對機臺進行恢復處理后，主要存在以下問題：

1、由于機臺的報警和停機在生產線中是時常可以遇到的情形，而同時機臺恢復系統遇到的案件多，且情形復雜，如果通過工程師手工處理的方式，常常會產生錯記和漏記的情況，從而導致潛在影響良率案件庫的信息不準確。

2、對于在一定時間內多次出現影響良率的問題，無法逐步提高控制等級。重點追蹤在制造生產的某一段時間內，如果在某個部門的某個機臺因為相同的原因而出現多個有可能影響產品良率的問題，無法進行重點歸類統計并分析。

3、對有可能產生影響出貨良率的情況無法通過IT中MES系統進行自動控制。在集成電路制造過程中，自動化往往是通過IT中制造執行系統(Manufacturing ExecutionSystem，簡稱MES系統)為機臺自動化系統(Equipment automation program，簡稱EAP系統)提供運行參數，并通過EAP系統來操作相應的機臺來實現的。然而在發現有可能會出現低良率的晶圓批次的時候，沒有一個地方可以控制這批晶圓在出貨之前必須暫停并且到相關部門進行良率檢測，以至于最后出貨時晶圓良率較低，從而產生不良影響。因此，MES系統以及EAP系統必須獲得相關的信息來控制晶圓的生產流程。

4、與芯片代工企業的良率分析系統沒有交互，無法準確地知道對良率的最終影響。每一個芯片代工企業都會有一個統一的良率分析系統，每一批晶圓都會在良率分析系統有對應的紀錄。在分析低良率的產品批次的時候，目前沒有一個集成的系統去察看是生產過程中出現的什么問題而導致這批晶圓良率低下，無法知道出現問題當時的具體數據。因此，無法準確地知道對良率的最終影響。

發明內容

本專利可以自動獲取來自機臺恢復系統的對潛在可能影響良率的案件，并將多次出現且屬性信息相同的案件篩選出來得到一案件草稿，通過及時處理這些案件，可以提高生產線上的產品質量，并提高產品良率。

一種提高產品良率的方法，應用于MES系統中的若干機臺上，其中，所述方法包括：

當所述機臺存在異常時，通過一機臺恢復系統對所述機臺進行恢復處理，且該機臺恢復系統將異常信息中潛在影響產品良率因素的信息傳遞至一數據庫；

對存儲在所述數據庫中的所有潛在影響產品良率因素的信息進行確認后，對數據庫中所有的潛在影響產品良率因素的信息進行篩選，生成影響產品良率案件并將該影響產品良率案件發送至所述MES系統；