[發明專利]用于圖像傳感器的光導陣列

有效

• 申請號: 201410710878.4
• 申請日: 2009-07-02
• 公開（公告）號: CN104538415B
• 公開（公告）日: 2017-12-26
• 發明（設計）人: 鄭蒼隆;坦·特龍多
• 申請（專利權）人: 坎德拉微系統(S)私人有限公司;鄭蒼隆
• 主分類號: H01L27/146
• 分類號: H01L27/146
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司72001
• 代理人: 張濤,劉春元

1.一種在圖像傳感器中位于光電轉換單元陣列之上的彩色濾光片的裝置，其包含：

一對相鄰的彩色濾光片，其位于一對光電轉換單元之上；

其中，所述一對相鄰的彩色濾光片夾住氣隙以及在該氣隙之下的支撐膜，該彩色濾光片的相對側壁并不筆直及垂直，

其中，該被夾住的支撐膜在一較高處比在一較低處較寬以固持所述一對相鄰的彩色濾光片。

2.根據權利要求1所述的彩色濾光片的裝置，還包括：

光導，其在所述一對彩色濾光片的每個彩色濾光片之下，用于將來自各彩色濾光片的光傳送到各自的光電轉換單元。

3.一種圖像傳感器，其包含：

覆蓋玻璃；

透明膜，其在該覆蓋玻璃之下；以及

圖像傳感器芯片，其在該透明膜之下，其包含多個在一襯底上的圖像傳感器像素，該多個圖像傳感器像素的每一個包含：

光電轉換單元，其由該襯底支撐；

彩色濾光片，其完全在該透明膜之下，該彩色濾光片的相對側壁并非筆直和垂直；

氣隙，其包含一氣體且直接在該透明膜之下；

支撐膜，其在氣隙之下，所述氣隙以及所述支撐膜都被夾在所述彩色濾光片和另一所述圖像傳感器像素的所述彩色濾光片之間，

其中，所述被夾住的支撐膜在一較高處比在一較低度處較寬以固持所述彩色濾光片。

4.根據權利要求3所述的圖像傳感器，其中所述圖像傳感器像素的每一個還包括在所述彩色濾光片之下的光導，用于將通過所述彩色濾光片過濾的光傳送到所述光電轉換單元。