[發(fā)明專利]一種基于石墨烯無源熱電偶的溫度探測方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201410709659.4 | 申請日： | 2014-11-27 |
| 公開（公告）號： | CN105698953B | 公開（公告）日： | 2018-08-28 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 王鍇成;賈越輝;王紫東;彭沛;任黎明;傅云義 | 申請（專利權(quán)）人： | 北京大學(xué) |
| 主分類號： | G01K7/04 | 分類號： | G01K7/04 |
| 代理公司： | 北京萬象新悅知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11360 | 代理人： | 賈曉玲 |
| 地址： | 100871*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 基于 石墨 無源 熱電偶 溫度 探測 方法 | ||
【權(quán)利要求書】：
1.一種基于石墨烯無源熱電偶的溫度探測方法，其步驟包括：
1)合成單層石墨烯薄膜，并將石墨烯轉(zhuǎn)移至襯底上；
2)采用電子束曝光、顯影、刻蝕石墨烯，形成U形的石墨烯無源熱電偶，以及多個U形石墨烯無源熱電偶構(gòu)成陣列；
3)在石墨烯無源熱電偶上濺射兩種不同金屬材料制備的電極，獲取上述石墨烯無源熱電偶的電壓ΔU；
4)根據(jù)公式ΔT＝ΔU/(S1-S2)，得到石墨烯無源熱電偶測試的溫度，其中S1、S2為石墨烯接觸金屬后的賽貝克系數(shù)。
2.如權(quán)利要求1所述的基于石墨烯無源熱電偶的溫度探測方法，其特征在于，U形石墨烯無源熱電偶的橫向尺寸為：兩個彎頭的寬度d1、d3在50nm～500nm范圍內(nèi)，彎頭之間的寬度d2不小于200nm，石墨烯無源熱電偶的縱向的尺寸為：橫梁的寬度h1在100nm～500nm范圍內(nèi)，彎頭的長度h2不小于200nm。
3.如權(quán)利要求1所述的基于石墨烯無源熱電偶的溫度探測方法，其特征在于，步驟3)中增加一外圍讀取電路，用字線和位線結(jié)合的方式掃描讀取電壓。
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