[發(fā)明專利]一種基于石墨烯的集成電路中的屏蔽層結(jié)構(gòu)在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201410709623.6 | 申請(qǐng)日： | 2014-11-28 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN105702663A | 公開(kāi)（公告）日： | 2016-06-22 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 秦樵風(fēng);王紫東;賈越輝;彭沛;任黎明;傅云義 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 北京大學(xué) |
| 主分類號(hào)： | H01L23/552 | 分類號(hào)： | H01L23/552 |
| 代理公司： | 北京萬(wàn)象新悅知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11360 | 代理人： | 賈曉玲 |
| 地址： | 100871*** | 國(guó)省代碼： | 北京;11 |
| 權(quán)利要求書(shū)： | 查看更多 | 說(shuō)明書(shū)： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 基于 石墨 集成電路 中的 屏蔽 結(jié)構(gòu) | ||
1.一種基于石墨烯的集成電路中的屏蔽層結(jié)構(gòu)，該結(jié)構(gòu)包括上下層疊的多個(gè)絕緣介質(zhì)層、 金屬信號(hào)線、水平或豎直的屏蔽層、以及金屬信號(hào)線間的通孔和屏蔽層與金屬信號(hào)線間的通 孔，其特征在于，屏蔽層的材料為單層或多層石墨烯。
2.如權(quán)利要求1所述的基于石墨烯的集成電路中的屏蔽層結(jié)構(gòu)，其特征在于，水平的屏 蔽位于設(shè)置于各層絕緣層中，寬度大于相鄰絕緣介質(zhì)層中金屬信號(hào)線的寬度，屏蔽層長(zhǎng)度與 相鄰絕緣介質(zhì)層中金屬信號(hào)線的長(zhǎng)度相同。
3.如權(quán)利要求1所述的基于石墨烯的集成電路中的屏蔽層結(jié)構(gòu)，其特征在于，豎直屏蔽 層位于同一絕緣層中的兩個(gè)相鄰金屬信號(hào)線之間，屏蔽層寬度橫跨兩個(gè)絕緣層，其長(zhǎng)度與金 屬信號(hào)線的長(zhǎng)度相同。
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