[發(fā)明專利]廢水處理方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201410709482.8
• 申請(qǐng)日: 2014-11-28
• 公開（公告）號(hào): CN105645626B
• 公開（公告）日: 2019-04-19
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王春冬;張?jiān)菩?/a>;黃攀峰;徐鳴;厲曉華
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中芯國(guó)際集成電路制造（上海）有限公司
• 主分類號(hào): C02F9/04
• 分類號(hào): C02F9/04
• 代理公司: 上海思微知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時(shí)云

本發(fā)明的廢水處理方法中，包括：在第一反應(yīng)槽中收集含銅廢水、含氟廢水的混合廢水，所述混合廢水中含有銅絡(luò)合物，調(diào)節(jié)所述混合廢水的pH值為第一設(shè)定值；向所述第一反應(yīng)槽中加入破絡(luò)劑，所述破絡(luò)劑與所述銅絡(luò)合物進(jìn)行破絡(luò)反應(yīng)，將處理過后的所述混合廢水注入第二反應(yīng)槽中；調(diào)節(jié)所述第二反應(yīng)槽中的混合廢水的pH值為第二設(shè)定值，并加入氟離子混凝劑，用于沉淀混合廢水中的氟離子；將處理后的混合廢水注入第四反應(yīng)槽中，向所述第四反應(yīng)槽中加入絮凝劑，進(jìn)行絮凝反應(yīng)，之后進(jìn)行沉淀。本發(fā)明中，將含銅廢水和含氟廢水在一個(gè)反應(yīng)系統(tǒng)中同時(shí)進(jìn)行處理，加入破絡(luò)劑將銅絡(luò)合物破絡(luò)之后沉淀，同時(shí)保證氟離子的沉淀，使得銅離子、氟離子濃度達(dá)到排放標(biāo)準(zhǔn)。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造業(yè)中的廢水處理技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種廢水處理方法。

背景技術(shù)

在半導(dǎo)體器件的制造過程中，會(huì)產(chǎn)生大量的廢液，例如含銅廢水、含氟廢水等，廢液如直接排放會(huì)造成環(huán)境的污染，所以需要進(jìn)行回收。目前，半導(dǎo)體制造中產(chǎn)生的含銅廢液，一般采用委托處理的方式進(jìn)行回收處理。一般直接產(chǎn)生的含銅廢水中銅的含量較低，達(dá)不到回收的要求，需要單獨(dú)建造處理系統(tǒng)處理。

然而，隨著目前國(guó)內(nèi)先進(jìn)芯片工藝的發(fā)展，含銅廢水的排放量不斷上升，并且，含銅廢水中銅絡(luò)合物高達(dá)70％以上，使得銅難以沉淀，單獨(dú)建造處理系統(tǒng)的成本又很高。傳統(tǒng)的預(yù)處理工藝對(duì)該廢水沒有良好的處理效果，從而使得排放廢水中銅含量的超標(biāo)風(fēng)險(xiǎn)很高。

因此，如何提供一種廢水處理方法，能夠克服上述缺點(diǎn)，已成為本領(lǐng)域技術(shù)人員需要解決的問題。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于，提供一種廢水處理方法，將含銅廢水與含氟廢水在一個(gè)系統(tǒng)中進(jìn)行處理，節(jié)省成本。

為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明提供一種廢水處理方法，包括：

在第一反應(yīng)槽中收集含銅廢水、含氟廢水的混合廢水，所述混合廢水中含有銅絡(luò)合物，調(diào)節(jié)所述混合廢水的pH值為第一設(shè)定值；

向所述第一反應(yīng)槽中加入破絡(luò)劑，所述破絡(luò)劑與所述銅絡(luò)合物進(jìn)行破絡(luò)反應(yīng)，將處理過后的所述混合廢水注入第二反應(yīng)槽中；

調(diào)節(jié)所述第二反應(yīng)槽中的混合廢水的pH值為第二設(shè)定值，并加入氟離子混凝劑，用于沉淀混合廢水中的氟離子；

將處理后的混合廢水注入第四反應(yīng)槽中，向所述第四反應(yīng)槽中加入絮凝劑，進(jìn)行絮凝反應(yīng)，之后進(jìn)行沉淀。

可選的，所述銅絡(luò)合物包括銅氨絡(luò)合物和銅氯絡(luò)合物。

可選的，所述破絡(luò)劑為氯化鐵。

可選的，進(jìn)行破絡(luò)反應(yīng)的時(shí)間為30min-60min。

可選的，所述第一設(shè)定值為3-5，

可選的，所述第二設(shè)定值為8-10。

可選的，調(diào)節(jié)混合廢水pH值采用的pH調(diào)節(jié)劑為質(zhì)量百分比濃度為30％的氫氧化鈉溶液。

可選的，所述氟離子混凝劑為氯化鈣，氟離子混凝劑進(jìn)行反應(yīng)的時(shí)間為30min-60min。

可選的，所述絮凝劑為質(zhì)量百分比濃度為2‰的聚丙烯酰胺溶液，加入所述絮凝劑進(jìn)行反應(yīng)的時(shí)間為20min-30min。

可選的，在加入所述氟離子混凝劑之后，還包括將混合廢水注入到一第三反應(yīng)槽中，對(duì)混合廢水進(jìn)行攪拌的過程。

可選的，沉淀之后還包括，將清液排放，污泥壓濾成泥餅的過程。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明廢水處理方法具有以下優(yōu)點(diǎn)：