[發明專利]高位EL檢查機對中機構在審
| 申請號: | 201410708327.4 | 申請日: | 2014-11-28 |
| 公開(公告)號: | CN104505352A | 公開(公告)日: | 2015-04-08 |
| 發明(設計)人: | 毛吉亮;印慶;胡學進;丁少武;曾詳林 | 申請(專利權)人: | 蘇州晟成光伏設備有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/66 | 分類號: | H01L21/66;H01L21/68;H01L31/18 |
| 代理公司: | 蘇州創元專利商標事務所有限公司32103 | 代理人: | 孫仿衛 |
| 地址: | 215006江蘇*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 高位 el 檢查 機構 | ||
1.一種高位EL檢查機對中機構,定義位于高位EL檢查機機架內的輸送架的輸送方向為縱向,在水平方向與縱向垂直的方向為橫向,其特征在于:它包括沿橫向設置在機架內且位于高位EL檢查機的輸送架上方的對中導軌(61)、分別可滑動連接于所述對中導軌(61)兩端的對中滑塊(62)、固定于所述對中滑塊(62)上的對中氣缸(63)、固定在所述對中氣缸(63)的活塞桿端部的對中安裝座(64)、轉動連接于所述對中安裝座(64)下端且轉軸垂直于縱向和橫向的對中滾輪(65)。
2.根據權利要求1所述的高位EL檢查機對中機構,其特征在于:它還包括用于驅動對中導軌(61)下行的垂直驅動部(66),所述垂直驅動(66)包括缸體垂直固定在所述機架(1)內的垂向氣缸(67),所述導軌(61)的兩端分別與兩臺所述垂向氣缸(67)相連接。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





