[發(fā)明專(zhuān)利]一種光柵三維形貌測(cè)量?jī)x

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201410708218.2
• 申請(qǐng)日: 2014-11-28
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN105698707B
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-08-31
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉曉輝;韓林;劉廣建
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 上海航天動(dòng)力科技工程有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): G01B11/245
• 分類(lèi)號(hào): G01B11/245;G01B11/25
• 代理公司: 上海科盛知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31225
• 代理人: 宣慧蘭

1.一種光柵三維形貌測(cè)量?jī)x，用于微小視場(chǎng)的檢測(cè)，包括支架(3)以及與支架(3)連接的投影組件(1)、采集組件(2)和控制處理器，所述的投影組件(1)和采集組件(2)分別與控制處理器連接，所述的投影組件(1)包括由內(nèi)向外依次連接的DMD芯片(11)、LED投影光源(12)、菲爾透鏡(13)、鏡頭透鏡(15)和成像板(16)，待檢測(cè)物(4)設(shè)置在菲爾透鏡(13)和鏡頭透鏡(15)之間，其特征在于，所述的待檢測(cè)物(4)與鏡頭透鏡(15)之間設(shè)有中繼鏡頭(14)，所述的鏡頭透鏡(15)為短焦透鏡，所述的待檢測(cè)物(4)與鏡頭透鏡(15)的距離大于或等于2倍鏡頭透鏡(15)的焦距，所述的LED投影光源(12)設(shè)置在菲爾透鏡(13)一倍菲爾透鏡焦距處，所述的采集組件(2)包括分別與控制處理器連接第一工業(yè)相機(jī)(21)和第二工業(yè)相機(jī)(22)，所述的第一工業(yè)相機(jī)(21)的光軸與LED投影光源(12)的光軸在一平面內(nèi)，并且兩條光軸的夾角為10-35度，所述的第一工業(yè)相機(jī)(21)的光軸與第二工業(yè)相機(jī)(22)的光軸設(shè)置在與前一平面垂直的平面內(nèi)，并且兩條光軸的夾角為5-35度，所述的光柵三維形貌測(cè)量?jī)x的投射幅面的范圍為1mm*1mm-10mm*10mm，所述的第一工業(yè)相機(jī)(21)和第二工業(yè)相機(jī)(22)上均設(shè)有濾光片，所述的濾光片為兩層，第一層為偏振鏡，第二層為藍(lán)色濾光鏡；

投影組件(1)和采集組件(2)由電源供電，控制處理器與投影組件(1)和采集組件(2)通信，控制處理器發(fā)出測(cè)量信號(hào)，DMD芯片(11)接收到信號(hào)后，發(fā)出投影圖形的命令，LED投影光源(12)執(zhí)行命令，將待檢測(cè)物(4)投影到成像板(16)上，采集組件(2)收到信號(hào)后，第一工業(yè)相機(jī)(21)和第二工業(yè)相機(jī)(22)采集數(shù)據(jù)，并由采集組件(2)將采集的數(shù)據(jù)傳輸?shù)娇刂铺幚砥鳎绍浖M(jìn)行計(jì)算處理得到被測(cè)物體的表面三維形貌，完成一次測(cè)量。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種光柵三維形貌測(cè)量?jī)x，其特征在于，所述的第一工業(yè)相機(jī)(21)和第二工業(yè)相機(jī)(22)為工業(yè)CCD相機(jī)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種光柵三維形貌測(cè)量?jī)x，其特征在于，所述的支架(3)底部設(shè)有固定在平臺(tái)上的安裝孔。