[發明專利]常壓放電冷等離子體發生器

有效

• 申請號: 201410707754.0
• 申請日: 2014-12-01
• 公開（公告）號: CN105722294B
• 公開（公告）日: 2019-04-30
• 發明（設計）人: 王立言;畢鮮榮;周震;宋素梅
• 申請（專利權）人: 無錫源清天木生物科技有限公司
• 主分類號: H05H1/24
• 分類號: H05H1/24
• 代理公司: 北京彩和律師事務所 11688
• 代理人: 閆桑田

1.常壓放電冷等離子體發生器，包括上隔板(6)、射頻電極(7)、下隔板(8)和地電極(9)，射頻電極(7)與射頻電源(5)連接，地電極(9)與射頻電源地線連接，上隔板(6)覆蓋于射頻電極(7)上，其特征在于，下隔板(8)內部設有縱橫交叉的氣體通道(12)，射頻電極(7)、地電極(9)上均設有突起的平行板條，地電極(9)、下隔板(8)上均設有與射頻電極(7)的板條相匹配的窄槽，射頻電極(7)的平行板條可以穿過下隔板(8)的窄槽(13)，平行穿插于地電極(9)的窄槽之間，再平行穿插于地電極的平行板條之間；在射頻電極(7)的平行板條和地電極(9)的窄槽及平行板條之間形成等離子體放電室(10)，所述常壓放電冷等離子體發生器工作氣體源包括氦氣、氬氣在內的能在大氣壓下穩定放電的氣源。

2.如權利要求1所述的常壓放電冷等離子體發生器，射頻電極的平行板條的下表面與地電極下表面處于同一平面。

3.如權利要求2所述的常壓放電冷等離子體發生器，其特征在于，所述射頻電極的平行板條的高度為1-100mm。

4.如權利要求3所述的常壓放電冷等離子體發生器，其特征在于，所述射頻電極和地電極之間形成等離子體放電室的間隙為0.5-3.0mm。

5.如權利要求1所述的常壓放電冷等離子體發生器，其特征在于，所述射頻電極的平行板條下表面與所述地電極的平行板條下表面處于同一平面。

6.如權利要求5所述的常壓放電冷等離子體發生器，其特征在于，所述地電極的平行板條高度為1-100mm。

7.如權利要求6所述的常壓放電冷等離子體發生器，其特征在于，所述射頻電極和地電極之間形成等離子體放電室的間隙為0.5-3.0mm。

8.如權利要求1-7任一項所述的常壓放電冷等離子體發生器，其特征在于，所述等離子體放電室共同構成的截面為圓形、橢圓形、正方形、長方形。

9.如權利要求8所述的常壓放電冷等離子體發生器，其特征在于，所述發生器的射頻電極和地電極為裸露金屬電極，所述上隔板與下隔板使用的材料均為絕緣材料。