[發明專利]光波導器件有效
| 申請號： | 201410705957.6 | 申請日： | 2014-11-27 |
| 公開（公告）號： | CN104678494B | 公開（公告）日： | 2019-05-21 |
| 發明（設計）人： | 淺井圭一郎;山口省一郎 | 申請（專利權）人： | 日本礙子株式會社 |
| 主分類號： | G02B6/125 | 分類號： | G02B6/125 |
| 代理公司： | 上海市華誠律師事務所 31210 | 代理人： | 李曉 |
| 地址： | 日本國愛知縣名*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 波導 器件 | ||
【權利要求書】：
1.一種光波導器件，其特征在于，包含：由選自鈮酸鋰、鉭酸鋰、鈮酸鋰-鉭酸鋰、釔鋁石榴石、釩酸釔、釩酸釓、鎢酸鉀釓以及鎢酸鉀釔構成的群的光學材料所構成的介電體層；以及
加載在該介電體層上的脊部，該脊部由五氧化二鉭構成，沿垂直于光的傳播方向的橫截面切開時呈梯形，所述脊部在基于JIS H8504試驗的膠帶剝離試驗中不會從所述介電體層剝離，
沿垂直于光的傳播方向的橫截面切開時，所述脊部具備上表面和一對傾斜面，所述傾斜面的傾斜角為45°以上、80°以下，所述脊部的上表面的寬度為3～8μm。
2.根據權利要求1所述的器件，其中，包含設置在所述介電體層的所述脊部相反一側的支承基板。
3.根據權利要求1或2所述的器件，其中，沿垂直于光的傳播方向的橫截面切開時，所述脊部的兩側露出所述介電體層。
4.根據權利要求1或2的器件，其中，沿垂直于光的傳播方向的橫截面切開時，所述脊部的兩側形成有被覆層。
5.根據權利要求1或2所述的器件，其中，所述介電體層中形成有周期極化反轉結構。
6.根據權利要求1或2所述的器件，其中，至少在所述脊部上形成有二氧化硅膜。
7.根據權利要求1或2所述的器件，其中，所述脊部通過濕蝕刻形成。
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