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[發明專利]積分球、光源及紫外-真空紫外成像光譜儀參數校準方法在審

專利信息
申請號: 201410705359.9 申請日: 2014-12-01
公開(公告)號: CN104501952A 公開(公告)日: 2015-04-08
發明(設計)人: 孫廣尉;王加朋;任小婉 申請(專利權)人: 北京振興計量測試研究所
主分類號: G01J3/02 分類號: G01J3/02;G01J3/10;G01J3/28;G02B27/09
代理公司: 代理人:
地址: 100074*** 國省代碼: 北京;11
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 積分 光源 紫外 真空 成像 光譜儀 參數 校準 方法
【權利要求書】:

1.一種積分球,包括球本體(1),所述球本體(1)上開有分別用以輸入和輸出光線的入射口(5)以及出射口(4),其特征在于,所述球本體(1)內壁設置有反射層(2),用以減少所述球本體(1)內壁對光的吸收。

2.根據權利要求1所述的積分球,其特征在于,所述反射層(2)為由噴涂有鋁粉的鋁粉涂層。

3.根據權利要求1所述的積分球,其特征在于,所述反射層(2)內壁設置有保護層(3),用以保護所述反射層(2)。

4.根據權利要求3所述的積分球,其特征在于,所述隔離層(3)為蒸鍍有氟化鎂的氟化鎂鍍層。

5.根據權利要求1所述的積分球,其特征在于,所述入射口(5)與出射口(4)的夾角為90~135°。

6.根據權利要求5所述的積分球,其特征在于,所述入射口(5)與出射口(4)的夾角為90°。

7.一種光源,其特征在于,包括氘燈/或氙燈以及權利要求1-6中任一項所述的積分球,所述氘燈/或氙燈設置于所述積分球的入射口(5)以向所述積分球射入光線。

8.根據權利要求7所述的積分球,其特征在于,所述氘燈的出射光F數為4.5~6,并且/或所述氙燈出射光F數為4~6。

9.根據權利要求8所述的積分球,其特征在于,所述氘燈的出射光F數為4.5,并且/或所述氙燈出射光F數為4。

10.一種紫外-真空紫外成像光譜儀參數校準方法,其特征在于,校準采用的光源為權利要求7所述的光源。

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