[發明專利]真空紫外成像光譜儀的校準方法及校準裝置

在審

• 申請號: 201410705356.5
• 申請日: 2014-12-01
• 公開（公告）號: CN104483019A
• 公開（公告）日: 2015-04-01
• 發明（設計）人: 孫廣尉;王加朋;任小婉
• 申請（專利權）人: 北京振興計量測試研究所
• 主分類號: G01J3/28
• 分類號: G01J3/28
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種真空紫外成像光譜儀的校準方法，其特征在于，包括：

校準真空紫外成像光譜儀波長測量范圍；

校準真空紫外成像光譜儀波長準確度；

校準真空紫外成像光譜儀光譜響應率；

校準真空紫外成像光譜儀均勻性；

校準真空紫外成像光譜儀空間角分辨率。

2.根據權利要求1所述的校準方法，其特征在于，所述“校準真空紫外成像光譜儀波長測量范圍”中包括：

依次向真空紫外成像光譜儀輸入不同波長的窄帶的真空紫外單色光作為目標信號；

獲取真空紫外成像光譜儀相應的輸出信號；

判斷該波長是否有相應的輸出信號。

3.根據權利要求1所述的校準方法，其特征在于，所述“校準真空紫外成像光譜儀波長準確度”中包括：

依次向真空紫外成像光譜儀輸入不同波長的窄帶的真空紫外單色光作為目標信號；

獲取真空紫外成像光譜儀相應的輸出信號的波長；

對比真空紫外成像光譜儀輸入以及相應輸出信號的波長。

4.根據權利要求1所述的校準方法，其特征在于，所述“校準真空紫外成像光譜儀光譜響應率”中包括：

設置可與真空紫外成像光譜儀切換工作的標準探測器；

分別向真空紫外成像光譜儀以及標準探測器輸入相同的窄帶的真空紫外單色光；

獲取真空紫外成像光譜儀以及標準探測器的輸出信號；

根據真空紫外成像光譜儀以及標準探測器的輸出信號求得真空紫外成像光譜儀的光譜響應率。

5.根據權利要求1所述的校準方法，其特征在于，所述“校準真空紫外成像光譜儀均勻性”中包括：

設置均勻性校準靶標；

對光進行勻光處理；

將經勻光處理的光經過所述均勻性校準靶標后準直為平行光并在真空紫外成像光譜儀像面的不同位置成像；

采集所述不同位置成像的圖像灰度；

獲取所述圖像灰度的平均值并根據該平均值并計算非均勻性。

6.根據權利要求1所述的校準方法，其特征在于，所述“校準真空紫外成像光譜儀均勻性”中包括：

對光進行勻光處理后輸入真空紫外成像光譜儀；

獲取不同像元的響應值；

選取獲取的像元響應值中的最大值并計算均勻性。

7.根據權利要求1所述的校準方法，其特征在于，所述“校準真空紫外成像光譜儀空間角分辨率”中包括：

設置不同尺寸的空間角分辨率校準靶標；

對光進行勻光處理；

將經勻光處理的光經過所述各空間角分辨率校準靶標后準直為平行光并輸入真空紫外成像光譜儀；

選取所述真空紫外成像光譜儀能夠辨識的最小尺寸的空間角分辨率校準靶標；

根據所述最小尺寸的空間角分辨率校準靶標的尺寸值獲取對應的出射光束的空間角度；

根據所述出射光束的空間角度獲得真空紫外成像光譜儀空間角分辨率。

8.一種真空紫外成像光譜儀的校準裝置，其特征在于，包括：

光源，用以提供真空紫外輻射能量；

真空紫外單色分光系統(4)，用以對所述光源發射的光進行分光處理，輸出所需波長；

真空紫外積分球(5)，用以均勻光源；

真空紫外靶標(6)，用以提供特征靶標；

真空紫外準直光學系統(7)，用以實現對光進行準直處理，形成平行光；

真空紫外標準探測器(8)，用以為光譜響應率的校準提供參考標準；

真空三維掃描機構(10)，用以實現需要被校的真空紫外成像光譜儀(9)的空間角度變換，所述真空三維掃描機構(10)與真空紫外成像光譜儀(9)連接；

所述光源、真空紫外單色分光系統(4)、真空紫外積分球(5)、真空紫外靶標(6)以及真空紫外準直光學系統(7)依次設置于光路中，真空紫外標準探測器(8)與需要被校的真空紫外成像光譜儀(9)可切換地設置于所述真空紫外準直光學系統(7)的輸出端；

光由所述光源發出后經所述真空紫外單色分光系統(4)分離出所需波長部分，再由所述真空紫外積分球(5)作勻光處理后經所述真空紫外靶標(6)繼而經所述真空紫外準直光學系統(7)進行準直處理后發射給所述真空紫外標準探測器(8)或真空紫外成像光譜儀(9)。