[發明專利]彈性表面波濾波器在審
| 申請號： | 201410705282.5 | 申請日： | 2014-11-27 |
| 公開（公告）號： | CN104682913A | 公開（公告）日： | 2015-06-03 |
| 發明（設計）人： | 豐田祐二 | 申請（專利權）人： | 株式會社村田制作所 |
| 主分類號： | H03H9/25 | 分類號： | H03H9/25;H03H9/02 |
| 代理公司： | 中科專利商標代理有限責任公司 11021 | 代理人： | 李逸雪 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 彈性 表面波 濾波器 | ||
1.一種彈性表面波濾波器，具備：
壓電基板；
下層布線，其被設置于所述壓電基板上；
上層布線，其與所述下層布線交叉、且電位與所述下層布線不同；和
層間絕緣膜，其被設置于所述下層布線與所述上層布線之間，
在沿著所述下層布線延伸的方向的俯視觀察時，所述層間絕緣膜具有如下部分，所述部分具有所述上層布線的寬度以下的寬度。
2.根據權利要求1所述的彈性表面波濾波器，其中，
在沿著所述下層布線延伸的方向的剖視觀察時，所述層間絕緣膜的整體具有所述上層布線的寬度以下的寬度。
3.根據權利要求1或2所述的彈性表面波濾波器，其中，
所述層間絕緣膜具有：與所述上層布線接觸的上表面、和與所述下層布線接觸的下表面，
在沿著所述下層布線延伸的方向的剖視觀察時，所述上表面具有比所述上層布線的寬度小的寬度。
4.根據權利要求3所述的彈性表面波濾波器，其中，
在沿著所述下層布線延伸的方向的剖視觀察時，所述下表面具有比所述上表面大的寬度。
5.根據權利要求3或4所述的彈性表面波濾波器，其中，
在沿著所述下層布線延伸的方向的剖視觀察時，所述下表面具有比所述上層布線的寬度小的寬度。
6.根據權利要求1至3中任一項所述的彈性表面波濾波器，其中，
所述層間絕緣膜具有：與所述上層布線接觸的上表面、和與所述下層布線接觸的下表面，
在沿著所述下層布線延伸的方向的剖視觀察時，所述上表面具有比所述下表面大的寬度。
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