[發(fā)明專利]一種具有高過載低加速度干擾的微壓力傳感器有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201410704912.7 | 申請(qǐng)日： | 2014-11-26 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN104458076A | 公開（公告）日： | 2015-03-25 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 田邊;韓佰鋒;李華峰;王鵬;趙玉龍;蔣莊德 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 西安交通大學(xué);西安上尚機(jī)電有限公司 |
| 主分類號(hào)： | G01L1/20 | 分類號(hào)： | G01L1/20;G01L9/02 |
| 代理公司： | 西安智大知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所 61215 | 代理人： | 賀建斌 |
| 地址： | 710049*** | 國(guó)省代碼： | 陜西;61 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說(shuō)明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 具有 過載 加速度 干擾 壓力傳感器 | ||
1.一種具有高過載低加速度干擾的微壓力傳感器，包括硅質(zhì)基底(1)，其特征在于：硅質(zhì)基底(1)的背面中部設(shè)有空腔，硅質(zhì)基底(1)的背面與硼玻璃(2)鍵合，且留有鍵合余量，硼玻璃(2)的中部設(shè)有凸臺(tái)結(jié)構(gòu)(8)，凸臺(tái)結(jié)構(gòu)(8)下底面中心位置與硼玻璃(2)上底面中心位置重合，硅質(zhì)基底(1)的背面空腔與硼玻璃(2)的凸臺(tái)結(jié)構(gòu)(8)相配合，并預(yù)留有工作間隙，在硅質(zhì)基底(1)的正面腐蝕形成相互垂直的第一梁(6)和第二梁(7)，在硅質(zhì)基底(1)的背面腐蝕形成平膜(9)，第一梁(6)和第二梁(7)與硅質(zhì)基底(1)四周的梁共同形成梁膜結(jié)構(gòu)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種具有高過載低加速度干擾的微壓力傳感器，其特征在于：所述的第一梁(6)和第二梁(7)的兩端沿著【100】晶向在應(yīng)力最大處布置有壓敏電阻(3)，四個(gè)壓敏電阻(3)均為2-4折的單一壓阻條，四個(gè)壓敏電阻(3)通過金屬引線(4)和焊盤(5)相互連接組成惠斯通電橋。
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