[發明專利]氮化硅膜制備裝置

有效

• 申請號: 201410704753.0
• 申請日: 2014-11-26
• 公開（公告）號: CN104372308B
• 公開（公告）日: 2017-11-03
• 發明（設計）人: 陳五奎;李軍;徐文州;陳磊;上官新龍
• 申請（專利權）人: 樂山新天源太陽能科技有限公司
• 主分類號: C23C16/458
• 分類號: C23C16/458;C23C16/513;C23C16/34
• 代理公司: 成都點睛專利代理事務所(普通合伙)51232
• 代理人: 葛啟函

1.氮化硅膜制備裝置，包括設置有爐門(1)的真空沉積室(2)，真空沉積室(2)內設有石墨舟(3)，硅片放置于石墨舟(3)上，真空沉積室(2)上設有進氣口(4)與排氣口(5)，所述進氣口(4)上連接有用于通入制程氣體的進氣管(6)，所述排氣口(5)上連接有排放管(8)，排放管(8)末端連接有真空泵(9)，真空泵(9)的進口與排放管(8)的出口相連，真空泵(9)的出口連接有尾排管(10)，其特征在于：所述石墨舟(3)下方設置有用于承載石墨舟(3)的托桿(11)，所述托桿(11)朝向爐門(1)的一端穿過爐門(1)，所述爐門(1)固定在托桿(11)上，所述爐門(1)內側的中央固定有銅電極(21)，所述石墨舟(3)朝向爐門(1)的一端設置有電極插孔(22)，所述銅電極(21)的位置與電極插孔(22)的位置相對應，所述托桿(11)伸出爐門(1)的一端固定有托架(23)，所述托架(23)通過連接桿固定在滑動塊(24)上，所述滑動塊(24)固定在滑竿(25)上，所述滑動塊(24)、滑竿(25)均位于爐門(1)邊緣的外側，所述滑竿(25)的軸線與真空沉積室(2)軸線互相平行，所述滑動塊(24)上連接有使滑動塊(24)沿滑竿(25)移動的驅動裝置，所述真空泵(9)的進口與排氣口(5)之間設置有旁路管(14)，所述旁路管(14)上設置有用于使旁路管(14)導通或關閉的旁通閥(15)，所述排放管(8)上設置有用于使排放管(8)導通或關閉的工藝閥(16)，所述排放管(8)的內徑為50mm-70mm，所述旁路管(14)的內徑為15mm-25mm。

2.如權利要求1所述的氮化硅膜制備裝置，其特征在于：所述爐門(1)包括石英爐門(101)和位于石英爐門(101)外側的支撐體(102)組成，所述支撐體(102)采用生鐵制作而成，所述支撐體(102)的表面開有多個減輕孔(103)。

3.如權利要求2所述的氮化硅膜制備裝置，其特征在于：所述進氣管(6)與進氣口(4)之間設置有氣體混合裝置(12)，所述氣體混合裝置(12)包括芯體(121)、殼體(122)，芯體(121)設置在殼體(122)內，芯體(121)表面開有螺旋槽(123)，所述螺旋槽(123)的內壁與殼體(122)的內壁圍成封閉的螺旋式氣體通道，所述螺旋式氣體通道的一端與進氣管(6)相連，另一端與真空沉積室(2)上設置有的進氣口(4)相連，所述殼體(122)的外表面設置有加熱裝置。

4.如權利要求3所述的氮化硅膜制備裝置，其特征在于：所述加熱裝置包括一層加熱棉(124)與一層絕熱布(125)，所述加熱棉(124)與絕熱布(125)之間設置有加熱電阻絲(126)，所述加熱電阻絲(126)與電源相連。

5.如權利要求4所述的氮化硅膜制備裝置，其特征在于：所述真空泵(9)的出口與尾排管(10)之間設置有硅烷燃燒室(13)。

6.如權利要求5所述的氮化硅膜制備裝置，其特征在于：在真空泵(9)的出口與尾排管(10)之間設置一個內徑為150mm-300mm不銹鋼圓筒形成所述的硅烷燃燒室(13)。

7.如權利要求6所述的氮化硅膜制備裝置，其特征在于：所述圓筒的外表面設置有多個緊固圈，相鄰的緊固圈之間通過金屬條連接在一起。

8.如權利要求7所述的氮化硅膜制備裝置，其特征在于：所述排放管(8)的內徑為60mm，所述旁路管(14)的內徑為20mm。

9.如權利要求8所述的氮化硅膜制備裝置，其特征在于：所述工藝閥(16)、旁通閥(15)均為電磁閥，所述工藝閥(16)上連接有第一觸發式開關(17)，所述旁通閥(15)上連接有第二觸發式開關(18)，所述真空沉積室(2)內設置有真空計(19)，還包括控制器(20)，所述第一觸發式開關(17)、第二觸發式開關(18)、真空計(19)分別與控制器(20)電連接。