[發明專利]柔性顯示器的制備方法有效
| 申請號: | 201410696861.8 | 申請日: | 2014-11-27 |
| 公開(公告)號: | CN105702879B | 公開(公告)日: | 2017-08-25 |
| 發明(設計)人: | 周思思;寇浩;亢澎濤;魯佳浩 | 申請(專利權)人: | 上海和輝光電有限公司 |
| 主分類號: | H01L51/56 | 分類號: | H01L51/56;H01L21/683 |
| 代理公司: | 上海唯源專利代理有限公司31229 | 代理人: | 曾耀先 |
| 地址: | 201508 上海市金山區*** | 國省代碼: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 柔性 顯示器 制備 方法 | ||
技術領域
本發明涉及OLED顯示技術領域,尤其是指一種柔性顯示器的制備方法。
背景技術
近年來,顯示器市場變化很快,中心位置已經由平板顯示器件占據,并將平板顯示器件致力于制造大尺寸、薄而輕的顯示器件。這類顯示器件包括液晶顯示器件、等離子體顯示面板、有機電致發光顯示器等。但是,現有的液晶顯示器件、等離子體顯示面板、有機電致發光顯示器均由玻璃基板構成,由于其不具有柔性從而限制了其應用范圍。
在柔性基板的制備過程,目前一般采用PI(Polyimide,聚酰亞胺)膜涂覆的方法,制作能夠進行彎曲折疊顯示的柔性顯示器。該方法的步驟為:在基板上涂覆PI膜,在PI膜上形成顯示結構;將PI膜與顯示結構的尺寸切割成產品尺寸;最后將形成有顯示結構的PI膜從基板上剝離下來,并將形成有顯示結構的PI膜作為柔性顯示器。然而將柔性顯示器與玻璃基板的剝離技術一直未獲得很好的結果,容易對PI膜造成較大的損壞。
在現有技術中,對于柔性顯示器在基板上的剝離方法大致有以下幾種:使用激光剝離技術(Electronics on Plastic by Laser Release),然而激光剝離技術所需要的激光能量高,其成本也高,同時由于激光的高能量容易造成發光器件的損傷。或者使用電阻加熱感應剝離技術(Joule heating induced lift off),該剝離技術使用加熱的方法使柔性顯示器與玻璃基板脫離,然而該電阻加熱感應剝離技術在剝離過程中,溫度過高,同時需要對發光器件進行保護,使制造成本上升。亦或者使用不銹鋼襯底(Stainless steel substrate)的剝離方法,該剝離方法通過化學法剝離,由于化學藥品的腐蝕性及酸堿性,將大大降低了柔性顯示器的壽命。
發明內容
有鑒于此,本發明提出一種使柔性顯示器可以很好的剝離的柔性顯示器的制備方法。
為了達到上述技術目的,本發明所采用的技術方案為:
一種柔性顯示器的制備方法,包括:
提供一玻璃基板,所述玻璃基板包括第一面以及與所述第一面相背的第二面,于所述第一面上形成柔性顯示面板;
于所述第二面上間隔地切割形成多邊形玻璃柱;
于所述第二面將所述多邊形玻璃柱頂出所述第一面,使得所述柔性顯示面板脫離于所述玻璃基板;以及
將所述柔性顯示面板與所述多邊形玻璃柱剝離,以形成所述柔性顯示器。
本發明制備方法的進一步改進在于,所述多邊形玻璃柱為圓形、正多邊形或者任意不規則形狀,且所述多邊形玻璃柱的深度等于或小于所述玻璃基板的厚度。
本發明制備方法的進一步改進在于,于所述第一面上形成柔性顯示面板的具體步驟包括:
于所述第一面上形成有機聚合物薄膜層;
于所述有機聚合物薄膜層上加工TFT器件;
于所述TFT器件上加工OLED發光器件;以及
于所述OLED發光器件上及其周圍的所述有機聚合物薄膜層上形成有用于防止所述TFT器件、OLED發光器件與空氣接觸的柔性封裝薄膜。
本發明制備方法的進一步改進在于,于所述第一面上形成有機聚合物薄膜層,包括:于所述第一面上涂覆有機聚合物藥水,經過程序升溫而使得所述有機聚合物藥水形成平整的有機聚合物薄膜層。
本發明制備方法的進一步改進在于,所述有機聚合物藥水為PET、PC、PES、PEN或PI。
本發明制備方法的進一步改進在于,所述程序升溫過程為在100℃中烘2.5小時至3.5小時,然后在200℃下烘4.5小時至5.5小時,最后在250℃至300℃下烘11小時至17小時。
本發明制備方法的進一步改進在于,所述有機聚合物薄膜層的厚度為10μm至30μm。
本發明制備方法的進一步改進在于,相鄰兩個所述多邊形玻璃柱之間的間距至少為1μm。
本發明制備方法的進一步改進在于,所述多邊形玻璃柱頂出所述第一面0.01mm至10mm。
本發明制備方法的進一步改進在于,所述有機聚合物薄膜層與所述多邊形玻璃柱剝離采用激光剝離或化學剝離。
與現有技術相比較,本發明通過在玻璃基板上形成的多邊形玻璃柱玻璃柱體將柔性顯示器部分與玻璃基板剝離,再將柔性顯示器與多邊形玻璃柱玻璃柱體剝離開,從而使柔性顯示器很好地與玻璃基板剝離,該剝離方法操作簡單,成本低,且不會對發光器件造成不良影響,可提高柔性顯示器剝離的良率。
附圖說明
圖1為本發明柔性顯示器制備方法的流程圖;
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L51-00 使用有機材料作有源部分或使用有機材料與其他材料的組合作有源部分的固態器件;專門適用于制造或處理這些器件或其部件的工藝方法或設備
H01L51-05 .專門適用于整流、放大、振蕩或切換且并具有至少一個電位躍變勢壘或表面勢壘的;具有至少一個電位躍變勢壘或表面勢壘的電容器或電阻器
H01L51-42 .專門適用于感應紅外線輻射、光、較短波長的電磁輻射或微粒輻射;專門適用于將這些輻射能轉換為電能,或者適用于通過這樣的輻射進行電能的控制
H01L51-50 .專門適用于光發射的,如有機發光二極管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料選擇





