[發(fā)明專利]一種單晶硅切方機(jī)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201410696263.0
• 申請(qǐng)日: 2014-11-27
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN104400922A
• 公開(kāi)（公告）日: 2015-03-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 楊建勇;吳濤;呂思迦;劉建勇;王志勇;谷元超
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 寧晉晶興電子材料有限公司
• 主分類號(hào): B28D5/04
• 分類號(hào): B28D5/04;B28D7/00
• 代理公司: 河北東尚律師事務(wù)所 13124
• 代理人: 王文慶

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種單晶硅切方機(jī)。

背景技術(shù)

切方機(jī)是單晶硅棒加工中最常用的設(shè)備之一，但目前切方機(jī)主輥輪采用單線槽設(shè)計(jì)，在設(shè)備運(yùn)轉(zhuǎn)過(guò)程中，隨著鋼線在線槽的摩擦，線槽會(huì)很快出現(xiàn)磨損，由于線槽的磨損，鋼線的運(yùn)轉(zhuǎn)軌跡會(huì)出現(xiàn)偏離，從而使線刀位置產(chǎn)生偏移，在對(duì)單晶硅棒切方時(shí)產(chǎn)生偏差，從而影響到單晶硅棒加工質(zhì)量，因此，當(dāng)主輥輪線槽磨損到一定程度時(shí)，為了不影響其生產(chǎn)的產(chǎn)品質(zhì)量只得更換切方機(jī)主輥輪，在一定程度上縮短了切方機(jī)主輥輪的使用壽命，提高了生產(chǎn)成本。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種單晶硅切方機(jī)，它具有改造成本低、使用壽命長(zhǎng)等特點(diǎn)。

為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明所采取的技術(shù)方案是：

一種單晶硅切方機(jī)，包括切方機(jī)框架及安裝于切方機(jī)框架上且具有相同結(jié)構(gòu)的橫向線刀裝置和縱向線刀裝置，橫向線刀裝置和縱向線刀裝置包括一對(duì)對(duì)稱設(shè)置在同一平面上的主輥軸，在主輥軸上均布主輥輪，還包括對(duì)稱設(shè)置在同一平面上的兩排定向輪，定向輪與主輥輪位置相對(duì)應(yīng)，在兩排定向輪的端部對(duì)角位置設(shè)置一對(duì)傾斜于定向輪用于鋼線轉(zhuǎn)向的轉(zhuǎn)向輪，鋼線纏繞在主輥輪線槽、定向輪線槽和轉(zhuǎn)向輪線槽上形成橫向線刀和縱向線刀，主輥輪寬度為35mm，其直徑為285mm，主輥輪設(shè)有13個(gè)V形線槽，V形線槽槽距為2mm；槽深為1mm，槽角度為90°；定向輪寬度為10mm，其直徑為205mm，定向輪設(shè)有一個(gè)V形線槽，切方機(jī)框架包括主輥軸安裝支架和定向輪安裝支架，定向輪安裝支架端部固定在定向輪安裝支架座上，定向輪安裝支架與定向輪安裝支架座之間設(shè)有定向輪軸向位置調(diào)整結(jié)構(gòu)，定向輪軸向位置調(diào)整結(jié)構(gòu)包括：定向輪安裝支架端部設(shè)有多個(gè)位置調(diào)整槽，位置調(diào)整槽的長(zhǎng)度方向與定向輪軸向相同，在定向輪安裝支架座上與位置調(diào)整槽相對(duì)應(yīng)的位置設(shè)有螺孔，螺栓通過(guò)位置調(diào)整槽安裝于定向輪安裝支架座上的螺孔內(nèi)將定向輪安裝支架與定向輪安裝支架座固定。

本發(fā)明進(jìn)一步改進(jìn)在于：

定向輪安裝支架6上設(shè)有用于標(biāo)記定向輪安裝支架6移動(dòng)距離的長(zhǎng)度尺9。

采用上述技術(shù)方案所產(chǎn)生的有益效果在于：

本發(fā)明主輥輪寬度為35mm，其直徑為285mm，主輥輪設(shè)有13個(gè)V形線槽，V形線槽槽距為2mm；槽深為1mm，槽角度為90°；定向輪寬度為10mm，其直徑為205mm，定向輪設(shè)有一個(gè)V形線槽，主輥輪設(shè)有多個(gè)線槽，當(dāng)一個(gè)線槽因磨損嚴(yán)重?zé)o法使用時(shí)，可改用其它線槽，從而提高設(shè)備的使用壽命；主輥輪的各項(xiàng)尺寸為多次實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)得出的最佳結(jié)果；切方機(jī)框架包括主輥軸安裝支架和定向輪安裝支架，定向輪安裝支架端部固定在定向輪安裝支架座上，定向輪安裝支架與定向輪安裝支架座之間設(shè)有定向輪軸向位置調(diào)整結(jié)構(gòu)，定向輪軸向位置調(diào)整結(jié)構(gòu)包括：定向輪安裝支架端部設(shè)有多個(gè)位置調(diào)整槽，位置調(diào)整槽的長(zhǎng)度方向與定向輪軸向相同，在定向輪安裝支架座上與位置調(diào)整槽相對(duì)應(yīng)的位置設(shè)有螺孔，螺栓通過(guò)位置調(diào)整槽安裝于定向輪安裝支架座上的螺孔內(nèi)將定向輪安裝支架與定向輪安裝支架座固定，因定向輪采用一個(gè)線槽，為了保持鋼線相對(duì)位置固定，通過(guò)調(diào)整定向輪軸向位置調(diào)整結(jié)構(gòu)改變定向輪與主輥輪的相對(duì)位置，以保證切方機(jī)的線刀相對(duì)位置不變，同時(shí)由于定向輪安裝支架與定向輪安裝支架座之間是采用螺栓活動(dòng)連接，方便部件的更換。因此，本發(fā)明具有改造成本低、使用壽命長(zhǎng)等特點(diǎn)。

附圖說(shuō)明

圖1是本發(fā)明切方機(jī)框架及縱向線刀裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是本發(fā)明的俯視圖；

圖3是本發(fā)明中定向輪安裝支架端部的結(jié)構(gòu)示意圖。

在附圖中：1、主輥軸；2、主輥輪；3、定向輪；4、轉(zhuǎn)向輪；5、主輥軸安裝支架；6、定向輪安裝支架；7、定向輪安裝支架座；8、位置調(diào)整槽；9、長(zhǎng)度尺；10、單晶硅棒。

具體實(shí)施方式

下面將結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。