[發明專利]一種多晶硅鑄錠爐底部小保溫板活動裝置及多晶硅鑄錠爐

在審

• 申請號: 201410692805.7
• 申請日: 2014-11-27
• 公開（公告）號: CN104328492A
• 公開（公告）日: 2015-02-04
• 發明（設計）人: 呂鐵錚
• 申請（專利權）人: 呂鐵錚
• 主分類號: C30B28/06
• 分類號: C30B28/06;C30B29/06
• 代理公司: 長沙星耀專利事務所 43205
• 代理人: 寧星耀

1.一種多晶硅鑄錠爐底部小保溫板活動裝置，包括底部小保溫板（2），支撐桿（3），伸縮管（6），升降裝置（7）；用上螺母（4）和下螺母（16）將所述底部小保溫板（2）固定在支撐桿（3）的上部；所述支撐桿（3）的下部穿伸至伸縮管（6）底部；所述伸縮管（6）上端與爐體相連，伸縮管（6）下端與升降裝置（7）相連接；其特征在于：在所述升降裝置（7）的控制下底部小保溫板（2）可以沿支撐桿（3）的軸向上下運動。

2.根據權利要求1所述的多晶硅鑄錠爐底部小保溫板活動裝置，其特征在于：所述升降裝置（7）由升降桿（8）和伺服電機（9）組成，升降桿（8）沿伺服電機（9）可以上下運動，從而帶動支撐桿（3）上部的底部小保溫板（2）上下運動。

3.根據權利要求1所述的多晶硅鑄錠爐底部小保溫板活動裝置，其特征在于：所述升降裝置（7）替換為C形卡（20），在所述C形卡（20）的控制下底部小保溫板（2）可以沿支撐桿（3）的軸向上下運動。

4.根據權利要求1所述的多晶硅鑄錠爐底部小保溫板活動裝置，其特征在于：所述伸縮管（6）由波紋管（13）與快換接頭（14）密封焊接而成；所述伸縮管（6）上端與爐體相連處設有密封圈（10），用卡箍（11）固定；伸縮管（6）下端與盲板（12）相連處設有密封圈（10），用卡箍（11）固定。

5.根據權利要求1所述的多晶硅鑄錠爐底部小保溫板活動裝置，其特征在于：所述底部小保溫板（2）與下螺母（16）之間還設置有墊板（5）。

6.根據權利要求1至5任意一權利要求所述的多晶硅鑄錠爐底部小保溫板活動裝置，其特征在于：所述支撐桿（3）可以為桿件或者管件，材料可以是鉬、鎢、不銹鋼、石墨或炭-炭復合材料中的一種。

7.根據權利要求1至5任意一權利要求所述的多晶硅鑄錠爐底部小保溫板活動裝置，其特征在于：所述底部小保溫板（2）橫截面為矩形或倒T字形，底部大保溫板（1）對應配合孔的橫截面為矩形或倒T字形。

8.根據權利要求1至5任意一權利要求所述的多晶硅鑄錠爐底部小保溫板活動裝置，其特征在于：所述底部小保溫板（2）俯視圖為圓形或矩形，底部大保溫板（1）對應配合孔俯視圖為圓形或矩形。

9.根據權利要求1至5任意一權利要求所述的多晶硅鑄錠爐底部小保溫板活動裝置，其特征在于：所述底部小保溫板（2）與底部大保溫板（1）的豎直分離距離（15）為10～300mm。

10.一種多晶硅鑄錠爐，包括下爐體（18），上爐體（19），其特征在于：具有權利要求1至9任意一權利要求所述的多晶硅鑄錠爐底部小保溫板活動裝置。?