[發明專利]一種涂膠機涂覆材料的供應裝置

在審

• 申請號: 201410691728.3
• 申請日: 2014-11-26
• 公開（公告）號: CN105629667A
• 公開（公告）日: 2016-06-01
• 發明（設計）人: 胡延兵;汪明波
• 申請（專利權）人: 沈陽芯源微電子設備有限公司
• 主分類號: G03F7/16
• 分類號: G03F7/16
• 代理公司: 沈陽科苑專利商標代理有限公司 21002
• 代理人: 何麗英

技術領域

本發明涉及半導體技術領域，具體的說涉及一種涂膠機涂覆材料的供應裝 置。

背景技術

目前，集成電路的生產與工藝研發都離不開涂膠機，涂膠機的作用是將待 涂覆材料均勻地涂敷在晶圓上，并對有涂覆材料的晶圓做相應的烘焙處理。

涂膠機所使用的涂覆材料供應主要分為手動和自動兩種方法，手動供應是 指使用滴管進行涂覆材料的點滴人工供給，自動供應是指使用專用供給裝置進 行涂覆材料的程式化供給。

涂覆材料的程式化供給原理不同，使用的專用裝置就不同，因此就會有多 種涂覆材料的供應方法。

發明內容

針對上述問題，本發明的目的在于提供一種涂膠機涂覆材料的供應方法。

為了實現上述目的，本發明采用以下技術方案：

一種涂膠機涂覆材料的供應裝置，包括截止閥、緩沖罐、涂覆材料承裝容 器及涂覆材料噴頭，其中涂覆材料承裝容器為倒置的容器，容器封口有出液口， 所述緩沖罐的頂端設有緩沖罐進液口，底部設有緩沖罐出液口，通過緩沖罐進 液管路將涂覆材料承裝容器與緩沖罐進液口連通，所述涂覆材料噴頭設置于待 涂覆晶圓的上方、并通過緩沖罐出液管路與緩沖罐出液口連通，所述緩沖罐出 液管路上設有截止閥；涂覆作業時，通過涂覆材料承裝容器內的液面與緩沖罐 內的液面高度差，控制涂覆材料噴頭的涂覆材料吐出量與涂覆材料承裝容器的 供給量的平衡。

所述緩沖罐緩沖罐進液管路和緩沖罐出液管路上分別設有上液位傳感器和 下液位傳感器，所述下液位傳感器位于截止閥的上方。所述緩沖罐進液管路和 緩沖罐上均設有排氣口。

所述涂覆材料承裝容器的位置高度大于緩沖罐的位置高度，所述緩沖罐的 位置高度大于截止閥的位置高度，所述截止閥的位置高度大于待涂覆晶圓的位 置高度。

本發明具有以下優點及有益效果：

1.本發明所述方法應用的供給系統，組成簡單，構成成本低，維護容易。

2.本發明所述方法應用的涂覆材料承裝容器出液口在底端，使得消耗材料 得以全部使用，生產耗材成本降低。

3.本發明定義了涂覆材料承裝容器、緩沖罐、截止閥的安裝高度，截止閥 的程式化開關，可實現精確控制出口涂覆材料流量。

附圖說明

圖1是本發明的結構示意圖。

其中：1為待涂覆晶圓，2為截止閥，3為緩沖罐，4為涂覆材料承裝容器， 5為上液位傳感器，6為下液位傳感器，7為涂覆材料噴頭，8為容器出口管路 排氣口，9為緩沖罐排氣口，H1為待涂覆晶圓的位置高度，H2為截止閥的位置 高度，H3為緩沖罐的位置高度，H4為涂覆材料承裝容器的位置高度。

具體實施方式

下面結合附圖對本發明做進一步的詳細說明。

如圖1所示，本發明包括截止閥2、緩沖罐3、涂覆材料承裝容器4及涂覆 材料噴頭7，其中涂覆材料承裝容器4為倒置的容器，容器封口有出液口，所述 緩沖罐3頂端設有緩沖罐進液口，底部設有緩沖罐出液口，通過緩沖罐進液管 路將涂覆材料承裝容器4與緩沖罐進液口連通。所述涂覆材料噴頭7設置于待 涂覆晶圓1的上方、并通過緩沖罐出液管路與緩沖罐出液口連通，所述緩沖罐 出液管路上設有截止閥2；涂覆作業時，通過涂覆材料承裝容器4內的液面與緩 沖罐3內的液面高度差，控制涂覆材料噴頭7的涂覆材料吐出量與涂覆材料承 裝容器4供給量的平衡。

所述緩沖罐3緩沖罐進液管路和緩沖罐出液管路上分別設有上液位傳感器5 和下液位傳感器6，所述下液位傳感器6位于截止閥2的上方，所述上液位傳感 器5和下液位傳感器6為光電反射式。所述緩沖罐進液管路上設有容器出口管 路排氣口8，所述緩沖罐3的上端設有緩沖罐排氣口。

各部件安裝位置，待涂覆晶圓的位置高度為H1，截止閥的位置高度為H2， 緩沖罐的位置高度為H3，涂覆材料承裝容器的位置高度為H4，高度定義為 H4＞H3＞H2＞H1；

本發明的工作原理是：

供給系統管路內充滿涂覆材料后，緩沖罐3內并非充滿涂覆材料，利用虹 吸原理可以控制其內部液面高度。截止閥2程式化開關，精密控制涂覆材料的 每次吐出量，隨后涂覆材料承裝容器4會進行等量的補充到緩沖罐3中，以此 保持供給管路系統內壓力的平衡。當涂覆材料承裝容器4內的涂覆材料全部用 盡時，緩沖罐3上方的上液位傳感器5會報警；當緩沖罐3內的涂覆材料全部 用盡時，緩沖罐3下方的下液位傳感器6會報警。

涂覆材料的程式化供給，需要滿足工藝方面上對供應的連續性、穩定性和 一致性的技術要求，還要符合供應回路安全性要求，以及生產上操作維護的簡 潔性及經濟性等要求。程式化供給涂覆材料，是指緩沖罐3進液口和出液口的 液位傳感器警報信號發送給控制中心，控制中心編輯邏輯控制方程，發出指令 通過截止閥2的時序化開關實現程式化供給涂覆材料。