[發(fā)明專利]磷化銦單晶爐熱偶升降裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201410689349.0
• 申請(qǐng)日: 2014-11-26
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN104404622A
• 公開(kāi)（公告）日: 2015-03-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 梁仁和;孫聶楓;孫同年;周世增;王陽(yáng);李曉嵐
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第十三研究所
• 主分類號(hào): C30B29/40
• 分類號(hào): C30B29/40;C30B15/20;C30B15/14
• 代理公司: 石家莊國(guó)為知識(shí)產(chǎn)權(quán)事務(wù)所 13120
• 代理人: 米文智

1.一種磷化銦單晶爐熱偶升降裝置，其特征在于：所述升降裝置包括固定臺(tái)（1）、位置指針（2）、標(biāo)尺（3）、熱偶管（4）、密封組件（5）、絲杠（6）、升降架（7）、傳動(dòng)組件（8）、動(dòng)力源（9）和熱偶絲（11），所述固定臺(tái)（1）為中空部件，固定在單晶爐頂蓋（10）上，絲杠（6）位于固定臺(tái)（1）內(nèi)，絲杠（6）的一端與單晶爐頂蓋（10）軸連接，所述傳動(dòng)組件（8）固定在所述絲杠（6）上，所述動(dòng)力源（9）位于固定臺(tái)（1）的外側(cè)，動(dòng)力源（9）的動(dòng)力輸出端與傳動(dòng)組件（8）相嚙合，所述升降架（7）通過(guò)絲母與絲杠（6）配合，熱偶管（4）的一端與升降架（7）固定連接，熱偶管（4）的另一端延伸至單晶爐內(nèi)，熱偶管（4）與所述單晶爐頂蓋（10）的交匯處設(shè)有密封組件（5），所述位置指針（2）固定在所述升降架（7）上，所述標(biāo)尺（3）固定在所述固定臺(tái)（1）上，所述標(biāo)尺（3）與所述位置指針（2）相對(duì)設(shè)置，所述熱偶絲（11）位于所述熱偶管（4）內(nèi)并延伸至單晶爐內(nèi)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磷化銦單晶爐熱偶升降裝置，其特征在于：所述動(dòng)力源（9）為調(diào)節(jié)手柄或電動(dòng)機(jī)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磷化銦單晶爐熱偶升降裝置，其特征在于：所述固定臺(tái)（1）固定于單晶爐頂蓋（10）上方，呈90°垂直，固定臺(tái)上配有限位裝置，且一側(cè)為開(kāi)放式設(shè)計(jì)，設(shè)有觀察口。

4.根據(jù)權(quán)利要求１-3中任意一項(xiàng)所述的磷化銦單晶爐熱偶升降裝置，其特征在于所述固定臺(tái)（1）、位置指針（2）、標(biāo)尺（3）和升降架（7）均為不銹鋼材質(zhì)，所述熱偶管（4）為剛玉材料制成。