[發明專利]一種彈性鉸鏈的加工方法

在審

• 申請號: 201410688302.2
• 申請日: 2014-11-26
• 公開（公告）號: CN104607871A
• 公開（公告）日: 2015-05-13
• 發明（設計）人: 董其國
• 申請（專利權）人: 董其國
• 主分類號: B23P15/00
• 分類號: B23P15/00
• 代理公司: 西安億諾專利代理有限公司 61220
• 代理人: 康凱

技術領域

本發明涉及電子專用設備技術領域，具體涉及一種彈性鉸鏈的加工方法。

背景技術

由于晶圓減薄專用設備在對晶片進行加工的過程中，根據加工工藝的要求，主軸需要有一個左右向的和前后向的微小角度調整。在現代化的生產設備中，常見的角度調整機構有：螺栓式調整機構，電磁彈片調整機構等。上述幾種裝置在實際應用中分別存在一定的不足，如可靠性低，結構較為復雜，零件加工難度大，成本高，但主要因為精度低，在減薄設備上難以應用。隨著對超精密加工機械的精度要求越來越高，特別是半導體材料加工設備等領域應用的精密運動機構對構件間的連接形式提出更高要求，彈性鉸鏈以其無機械摩擦，無間隙，剛性強，穩定性高，彈性變形可逆等優點被廣泛應用。

發明內容

本發明旨在提出一種彈性鉸鏈的加工方法。

本發明的技術方案在于：

一種彈性鉸鏈的加工方法，包括粗加工-半精加工-精加工的工藝方法；其中，粗加工將80%的加工量去除。

優選地，所述的粗加工之前先進行調制處理使其達到HRC25-30,然后進行切削加工。

優選地，半精加工后，進行人工時效處理，真空油淬到1020℃，預冷到750℃入油，油溫40～60℃，200℃時回火，48℃時，真空氣淬。

或者優選地，精加工時用冷卻液進行冷卻處理，并對精準面進行磨削。

或者優選地，工藝選用立式加工方法。

本發明的技術效果在于：

本發明既可以解決傳統調整機構可靠性低、結構復雜的技術問題，又可極好地實現晶片加工工藝的要求，需要其有較高的安裝面和定位面的形位公差精度，平面度、平行度均應保證在微米數量級，才能實現設備的晶片超精密減薄加工。

具體實施方式

一種彈性鉸鏈的加工方法，包括粗加工-半精加工-精加工的工藝方法；其中，粗加工將80%的加工量去除。其中，粗加工之前先進行調制處理使其達到HRC25-30,然后進行切削加工。半精加工后，進行人工時效處理，真空油淬到1020℃，預冷到750℃入油，油溫40～60℃，200℃時回火，48℃時，真空氣淬。精加工時用冷卻液進行冷卻處理，并對精準面進行磨削。工藝選用立式加工方法。