[發(fā)明專利]一種單晶爐的上爐體

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201410687683.2
• 申請(qǐng)日: 2014-11-25
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN104451860A
• 公開(kāi)（公告）日: 2015-03-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 馬海善
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 常州市海豪力智能裝備科技有限公司
• 主分類號(hào): C30B15/00
• 分類號(hào): C30B15/00;C30B29/06
• 代理公司: 常州市維益專利事務(wù)所 32211
• 代理人: 錢(qián)鎖方

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及單晶硅生產(chǎn)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種單晶爐的上爐體。

背景技術(shù)

單晶硅是具有完整的點(diǎn)陣結(jié)構(gòu)的晶體，是一種良好的半導(dǎo)體材料，目前被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體器件以及太陽(yáng)能電池的制造。單晶硅使用高純度的多晶硅在單晶爐內(nèi)拉制而成的，在市場(chǎng)上有很廣闊的前景。目前單晶硅的拉制裝置為單晶爐，它是由上爐體、下?tīng)t室、上爐室、爐蓋、翻板箱、副室六大部分組成，目前普遍采用的單晶爐的上爐體只有單層爐壁，由于在單晶爐的工作過(guò)程中長(zhǎng)時(shí)間處于高溫狀態(tài)，會(huì)將上爐體燒壞，造成很大的損失。

發(fā)明內(nèi)容

針對(duì)上述問(wèn)題，本發(fā)明的目的是提供一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，使用壽命長(zhǎng)，能夠散熱的單晶爐的上爐體。

實(shí)現(xiàn)本發(fā)明的技術(shù)方案如下：

一種單晶爐的上爐體，包括上爐體本體，所述上爐體本體上、下兩端分別設(shè)有上、下連接件，上爐體本體包括內(nèi)爐體和外爐體，外爐體和內(nèi)爐體之間形成有冷卻腔體，所述內(nèi)爐體設(shè)置為弧形結(jié)構(gòu)，呈“()”型結(jié)構(gòu)，冷卻腔體內(nèi)設(shè)有繞設(shè)在內(nèi)爐體上的螺旋式冷卻翅片，外爐體的內(nèi)壁與冷卻翅片相連，外爐體的外壁上設(shè)有與冷卻腔體相連的進(jìn)水口和出水口。

所述進(jìn)水口設(shè)置于緊鄰上連接件處，出水口設(shè)置于緊鄰下連接件處。

所述進(jìn)水口與出水口設(shè)置在外爐體的同一側(cè)，優(yōu)點(diǎn)是便于加水和排水。

所述上、下連接件為上、下法蘭，優(yōu)點(diǎn)是結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，便于連接其他裝置。

所述冷卻翅片為波紋狀結(jié)構(gòu)或?yàn)橹逼浇Y(jié)構(gòu)，優(yōu)點(diǎn)是吸熱、傳熱好，散熱效果好。

采用了上述的方案,單晶爐工作時(shí)爐體溫度較高，通過(guò)內(nèi)爐體上的散熱翅片進(jìn)行吸熱傳熱，這樣熱量聚集于冷卻腔體內(nèi)，大大降低了內(nèi)爐體的溫度，在通過(guò)進(jìn)水口對(duì)冷卻腔體內(nèi)注水可以對(duì)上爐體進(jìn)行冷卻，水流沿翅片流動(dòng)，流動(dòng)中將冷卻腔體內(nèi)的熱量帶走，樣能夠充分的吸收爐體內(nèi)的溫度，提高冷卻效率，達(dá)到降低爐壁的溫度，提高上爐體的使用壽命，內(nèi)爐體設(shè)為弧形結(jié)構(gòu)一方面增大了接觸面積，能使溫度分散，散熱效果較好，另一方面還增加了內(nèi)爐體內(nèi)的空間，是容量達(dá)到最大。

附圖說(shuō)明

圖1為本發(fā)明結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本發(fā)明中內(nèi)爐體和冷卻翅片的連接示意圖；

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)一步說(shuō)明。

如圖1和圖2，一種單晶爐的上爐體，包括上爐體本體，所述上爐體本體上、下兩端分別設(shè)有上、下連接件1、2，上爐體本體包括內(nèi)爐體4和外爐體3，外爐體3和內(nèi)爐體4之間形成有冷卻腔體5，所述內(nèi)爐體4設(shè)置為弧形結(jié)構(gòu)，呈“()”型結(jié)構(gòu)，冷卻腔體5內(nèi)設(shè)有繞設(shè)在內(nèi)爐體4上的螺旋式冷卻翅片8，外爐體3的內(nèi)壁與冷卻翅片8相連，外爐體3的外壁上設(shè)有與冷卻腔體5相連的進(jìn)水口6和出水口7。

所述進(jìn)水口6設(shè)置于緊鄰上連接件處，出水口7設(shè)置于緊鄰下連接件處。

所述進(jìn)水口6與出水口7設(shè)置在外爐體的同一側(cè)，優(yōu)點(diǎn)是便于加水和排水。

所述上、下連接件1、2為上、下法蘭，優(yōu)點(diǎn)是結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，便于連接其他裝置。

所述冷卻翅片8為波紋狀結(jié)構(gòu)或?yàn)橹逼浇Y(jié)構(gòu)，優(yōu)點(diǎn)是吸熱、傳熱好，散熱效果好。