[發明專利]用于X射線分析儀的光軸調整裝置

有效

• 申請號: 201410683622.9
• 申請日: 2014-11-25
• 公開（公告）號: CN104655663B
• 公開（公告）日: 2018-09-25
• 發明（設計）人: 掛札康治;飛田一郎
• 申請（專利權）人: 株式會社理學
• 主分類號: G01N23/207
• 分類號: G01N23/207
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 蔣駿;陳嵐

1.一種用于X射線分析儀(1)的光軸調整裝置，包括：

入射側臂(3)，其圍繞穿過樣本位置的樣本軸(X0)旋轉，所述樣本位置構成在其處放置樣本(S)的位置；

接收側臂(4)，其圍繞所述樣本軸(X0)旋轉并且向著與所述入射側臂(3)相反的側延伸；

X射線源(F)，其被提供在所述入射側臂(3)上；

入射側裂縫(8)，其被提供在所述樣本位置和所述X射線源(F)之間的所述入射側臂(3)上；

X射線檢測器(11)，其被提供在所述接收側臂(4)上；

屏蔽帶(22)，其被布置在阻擋來自所述X射線源(F)的被所述X射線檢測器(11)接收的X射線的位置處，以及

屏蔽帶移動裝置(3、12)，其用于圍繞所述樣本軸(X0)相對于從所述X射線源(F)到達所述X射線檢測器(11)的X射線的光軸(R0)將所述屏蔽帶(22)旋轉到兩個不同角(β1、β2)位置；

其中：

基于由所述X射線檢測器(11)針對所述兩個角位置中的每一個角位置找到的X射線強度值，來找到所述樣本(S)的表面相對于所述X射線的所述光軸(R0)的在平行性方面的偏離量；

所述屏蔽帶(22)僅在接收方向上從所述樣本軸(X0)延伸；

所述屏蔽帶(22)的X射線入射側與所述樣本軸(X0)對齊；以及

將用于所述屏蔽帶(22)的所述兩個角度(β1、β2)設置到正側角度和負側角度，以便抵消所述屏蔽帶(22)的厚度的信息，并且獲得僅僅所述屏蔽帶(22)的角度信息。

2.根據權利要求1所述的用于X射線分析儀(1)的光軸調整裝置，其中，所述屏蔽帶(22)在沿著所述樣本軸的方向上的長度大于所述入射X射線束(R0)在沿著所述樣本軸(X0)的方向上的寬度。

3.根據權利要求1所述的用于X射線分析儀(1)的光軸調整裝置，其中，所述X射線檢測器(11)是擁有X射線強度位置分辨率，即用來檢測在直線上的預先確定的區域中的X射線強度的能力的一維X射線檢測器，并且應用所述位置分辨率所沿的所述直線在沿著所述X射線衍射角的方向上延伸。