[發明專利]光纖用硅玻璃母材的制造方法

有效

• 申請號: 201410682139.9
• 申請日: 2014-11-24
• 公開（公告）號: CN104671658B
• 公開（公告）日: 2019-09-06
• 發明（設計）人: 井上大;小山田浩
• 申請（專利權）人: 信越化學工業株式會社
• 主分類號: C03B37/014
• 分類號: C03B37/014
• 代理公司: 北京林達劉知識產權代理事務所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇;張會華

1.一種光纖用硅玻璃母材的制造方法，其特征在于，

該光纖用硅玻璃母材的制造方法包括如下工序：

制作硅玻璃微粉體的工序，該硅玻璃微粉體在其中心具有添加有用于提高硅玻璃的折射率的正的摻雜劑的芯部并在所述芯部的外周具有折射率比所述芯部的折射率低的中間部；

制成第1芯棒的工序，在含有負的摻雜劑原料的氦氣氣氛中以使所述硅玻璃微粉體透明玻璃化的溫度進行加熱從而制成在中間部的至少一部分添加有負的摻雜劑的透明硅玻璃制的第1芯棒；

賦予硅玻璃微粉層的工序，所述硅玻璃微粉層在所述第1芯棒的外周成為溝槽部；

制成第2芯棒的工序，在含有負的摻雜劑原料的氦氣氣氛中以使所述硅玻璃微粉層透明玻璃化的溫度進行加熱從而制成在整個所述溝槽部添加有負的摻雜劑的透明硅玻璃制的第2芯棒；

賦予硅玻璃的工序，所述硅玻璃在所述第2芯棒的外周成為包層部，

透明玻璃化前的所述硅玻璃微粉體的密度大于0.21g/cm³，

透明玻璃化前的所述硅玻璃微粉層的密度小于0.21g/cm³，

在所述制成第1芯棒的工序中，以所述中間部中的越靠外側的部分折射率越低的方式添加負的摻雜劑，

所述溝槽部以使其折射率比所述中間部的折射率低的方式添加負的摻雜劑。

2.根據權利要求1所述的光纖用硅玻璃母材的制造方法，其特征在于，

所述制成第1芯棒的工序和所述制成第2芯棒的工序中的負的摻雜劑原料是氟，

所述制成第2芯棒的工序中的負的摻雜劑原料以比所述制成第1芯棒的工序中的含有負的摻雜劑原料的氦氣氣氛中的含氟氣體的濃度高的濃度含有含氟氣體。

3.根據權利要求2所述的光纖用硅玻璃母材的制造方法，其特征在于，

所述制成第1芯棒的工序中的含有負的摻雜劑原料的氦氣氣氛是含有0.1體積％～10體積％的從SiF₄、CF₄、C₂F₆和SF₆選擇的氟化合物氣體的氦氣氣氛，

所述制成第2芯棒的工序中的含有負的摻雜劑原料的氦氣氣氛是含有10體積％～80體積％的從SiF₄、CF₄、C₂F₆和SF₆選擇的氟化合物氣體的氦氣氣氛。

4.根據權利要求1或2所述的光纖用硅玻璃母材的制造方法，其特征在于，

該光纖用硅玻璃母材的制造方法在所述制作硅玻璃微粉體的工序和所述制成第1芯棒的工序之間還具有在使非活性氣體中含有氯的氣氛中以不使所述硅玻璃微粉體透明玻璃化的程度的溫度進行加熱的工序。

5.根據權利要求1或2所述的光纖用硅玻璃母材的制造方法，其特征在于，

該光纖用硅玻璃母材的制造方法在所述賦予硅玻璃微粉層的工序和所述制成第2芯棒的工序之間還具有在使非活性氣體中含有氯的氣氛中以不使所述硅玻璃微粉層透明玻璃化的程度的溫度進行加熱的工序。

6.根據權利要求1或2所述的光纖用硅玻璃母材的制造方法，其特征在于，

該光纖用硅玻璃母材的制造方法還具有使所述第1芯棒拉伸的工序和使所述第2芯棒拉伸的工序中的至少一者。

7.根據權利要求1或2所述的光纖用硅玻璃母材的制造方法，其特征在于，

該光纖用硅玻璃母材的制造方法還具有將所述第1芯棒的所述中間部的外周去除規定厚度的工序和將所述第2芯棒的所述溝槽部的外周去除規定厚度的工序中的至少一者。