[發明專利]一種高效散熱結構的集成光電波導調制器及其制造方法

在審

• 申請號: 201410677231.6
• 申請日: 2014-11-21
• 公開（公告）號: CN104483763A
• 公開（公告）日: 2015-04-01
• 發明（設計）人: 劉向南;張靚;于征;諶明;向程勇;盧滿宏;杜中偉;李英飛
• 申請（專利權）人: 北京遙測技術研究所;航天長征火箭技術有限公司
• 主分類號: G02F1/035
• 分類號: G02F1/035
• 代理公司: 中國航天科技專利中心 11009
• 代理人: 范曉毅

1.一種高效散熱結構的集成電光波導調制器，其特征在于：包括電光波導調制器部件和金剛石薄片，其中，所述電光波導調制器部件包括金電極層、鉻金層、二氧化硅緩沖層、鈮酸鋰光波導和鈮酸鋰襯底；電光波導調制器部件的鈮酸鋰襯底和金剛石薄片之間通過鍵合匹配液進行鍵合處理形成接觸。

2.根據權利要求1所述的一種高效散熱結構的集成電光波導調制器，其特征在于：鈮酸鋰襯底與金剛石薄片通過鍵合匹配液利用液體毛細鍵合工藝實現接觸。

3.根據權利要求1或2所述的一種高效散熱結構的集成電光波導調制器，其特征在于：所述鈮酸鋰襯底為X切向或Z切向的晶體。

4.根據權利要求1或2所述的一種高效散熱結構的集成電光波導調制器，其特征在于：所述電光波導調制器部件中包括1個或2個鈮酸鋰光波導。

5.一種高效散熱結構的集成光電波導調制器的制備方法，其特征在于：包括以下步驟：

(1)分別采用三氯甲烷和去離子水對電光波導調制器部件的鈮酸鋰襯底表面進行清洗；

(2)、對步驟(1)清洗后的鈮酸鋰襯底進行烘干處理；

(3)、分別采用堿性溶液和酸性溶液對金剛石薄片進行沖洗，并且在每次沖洗后，采用去離子水對殘留在金剛石薄片上的堿性溶液或酸性溶液進行沖洗；然后再將金剛石薄片放入丙酮溶液中浸泡，并在浸泡之后利用去離子水沖洗殘留在金剛石薄片上的丙酮溶液；

(4)、對步驟(3)沖洗后的金剛石薄片進行烘干處理；

(5)、將烘干處理后的電光波導調制器部件和金剛石薄片浸泡在鍵合匹配液中；

(6)、在保持電光波導調制器部件的鈮酸鋰襯底和金剛石薄片濕潤的條件下，將金剛石薄片放置在電光波導調制器部件的鈮酸鋰襯底下方，并在所述金剛石薄片的下方施加氣壓，使得金剛石薄片和鈮酸鋰襯底之間形成鍵合接觸，即金剛石薄片與鈮酸鋰襯底之間的干涉條紋消失。

6.根據權利要求5所述的一種高效散熱結構的集成光電波導調制器的制備方法，其特征在于：在步驟(5)中采用的鍵合匹配液為甲醇溶液。

7.根據權利要求5所述的一種高效散熱結構的集成光電波導調制器的制備方法，其特征在于：在步驟(3)中采用的堿性溶液為氨水和雙氧水的混合溶液，酸性溶液為鹽酸溶液。