[發明專利]一種MEMS全向振動傳感器

在審

• 申請號: 201410673491.6
• 申請日: 2014-11-21
• 公開（公告）號: CN104391320A
• 公開（公告）日: 2015-03-04
• 發明（設計）人: 黃能;蔡桂鈞
• 申請（專利權）人: 廣西智通節能環保科技有限公司
• 主分類號: G01V1/18
• 分類號: G01V1/18
• 代理公司: 廣州三環專利代理有限公司 44202
• 代理人: 溫旭

1.一種MEMS全向振動傳感器，其特征在于，包括傳感器殼體、印刷電路板、MEMS級三軸電容式加速度計、MEMS級三軸磁阻傳感器和三維加速度傳感器，所述傳感器殼體是球形的，且由灌封材料組成，

所述MEMS級三軸電容式加速度計安裝于傳感器殼體的重心位置處，用于三維全向測振，所述MEMS級三軸電容式加速度計、MEMS級三軸磁阻傳感器和三維加速度傳感器安裝于印刷電路板上；

采用灌封和制模工藝，將所述印刷電路板直接澆鑄在傳感器殼體的重心平面內。

2.根據權利要求1所述的MEMS全向振動傳感器，其特征在于，所述傳感器殼體的直徑為3～5cm。

3.根據權利要求2所述的MEMS全向振動傳感器，其特征在于，所述印刷電路板選用覆銅箔環氧玻纖布層壓板印刷電路板，所述印刷電路板的厚度為1～5mm。

4.根據權利要求3所述的MEMS全向振動傳感器，其特征在于，所述灌封材料選自石蠟、聚氨酯泡沫塑料、環氧樹脂和聚四氟乙烯中的一種或多種的組合。

5.根據權利要求4所述的MEMS全向振動傳感器，其特征在于，所述MEMS級三軸電容式加速度計和MEMS級三軸磁阻傳感器構成姿態測試模塊，用于探測所述全向振動傳感器三軸偏離以磁北、大地水平面和重力方向組成的大地坐標系的夾角。

6.根據權利要求5所述的MEMS全向振動傳感器，其特征在于，所述MEMS級三軸磁阻傳感器用于探測全向振動傳感器X軸偏離磁北的方位角。

7.根據權利要求5所述的MEMS全向振動傳感器，其特征在于，所述MEMS級三軸電容式加速度計用于探測全向振動傳感器Y軸、Z軸偏離大地水平面和重力方向的滾轉角和俯仰角。