[發明專利]一種新型太陽能電池的制作方法無效
| 申請號： | 201410670669.1 | 申請日： | 2014-11-21 |
| 公開（公告）號： | CN104465867A | 公開（公告）日： | 2015-03-25 |
| 發明（設計）人： | 郭文錦;蔡桂鈞 | 申請（專利權）人： | 廣西智通節能環保科技有限公司 |
| 主分類號： | H01L31/18 | 分類號： | H01L31/18 |
| 代理公司： | 廣州三環專利代理有限公司 44202 | 代理人： | 溫旭 |
| 地址： | 545001 廣西壯族自治區柳*** | 國省代碼： | 廣西;45 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 新型 太陽能電池 制作方法 | ||
1.一種新型太陽能電池的制作方法，其特征在于，至少包括以下步驟：
S1：提供第一類型半導體襯底并進行酸制絨，在所述第一類型半導體襯底表面形成蜂窩狀絨面結構；
S2：在所述蜂窩狀絨面結構上形成一層掩模，所述掩模覆蓋上電極印刷區域；
S3：接著將所述第一類型半導體襯底進行堿制絨，在所述掩模未覆蓋區域形成金字塔絨面結構；
S4：去除所述掩模；
S5：然后對所述第一類型半導體襯底進行整面第二類型輕摻雜；
S6：再對所述第一類型半導體襯底的上電極印刷區域進行第二類型重摻雜；
S7：最后依次進行邊緣刻蝕、清洗、沉積減反射膜，所述陰極電極層至少一面形成有金屬納米顆粒層，所述金屬納米顆粒層中金屬納米顆粒的功函數值低于陰極電極層的功函數值，所述陰極電極層由單層、雙層或多層石墨烯薄膜形成。
2.根據權利要求1所述的新型太陽能電池的制作方法，其特征在于：所述掩模為石蠟掩模。
3.根據權利要求2所述的新型太陽能電池的制作方法，其特征在于：于所述步驟S4中，在300～500℃的含氧氣氛下去除所述石蠟掩模。
4.根據權利要求1所述的新型太陽能電池的制作方法，其特征在于：所述第一類型半導體襯底為單晶硅襯底。
5.根據權利要求1所述的新型太陽能電池的制作方法，其特征在于：于所述步驟S1中，將所述第一類型半導體襯底置于酸溶液中并保持100～1000秒。
6.根據權利要求5所述的新型太陽能電池的制作方法，其特征在于：所述酸溶液為氫氟酸與硝酸的混合溶液。
7.根據權利要求1所述的新型太陽能電池的制作方法，其特征在于：于所述步驟S3中，將所述第一類型半導體襯底置于堿溶液中并保持500～3000秒。
8.根據權利要求1所述的新型太陽能電池的制作方法，其特征在于：所述堿溶液包括KOH或NaOH。
9.根據權利要求1所述的新型太陽能電池的制作方法，其特征在于：于所述步驟S6中，利用激光照射進行所述第二類型重摻雜。
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H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L31-00 對紅外輻射、光、較短波長的電磁輻射，或微粒輻射敏感的，并且專門適用于把這樣的輻射能轉換為電能的，或者專門適用于通過這樣的輻射進行電能控制的半導體器件；專門適用于制造或處理這些半導體器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半導體本體為特征的
H01L31-04 .用作轉換器件的
H01L31-08 .其中的輻射控制通過該器件的電流的，例如光敏電阻器
H01L31-12 .與如在一個共用襯底內或其上形成的，一個或多個電光源，如場致發光光源在結構上相連的，并與其電光源在電氣上或光學上相耦合的
