[發明專利]一種采用激光刻劃玻璃加工方法

有效

• 申請號: 201410670288.3
• 申請日: 2014-11-21
• 公開（公告）號: CN105618936B
• 公開（公告）日: 2017-12-01
• 發明（設計）人: 鄭付成;黃秋香;張峻誠;王振華;黃東海;謝建;高云峰
• 申請（專利權）人: 大族激光科技產業集團股份有限公司
• 主分類號: B23K26/364
• 分類號: B23K26/364;B23K26/402;C03C15/00
• 代理公司: 深圳市世聯合知識產權代理有限公司44385
• 代理人: 汪琳琳

1.一種采用激光刻劃玻璃加工方法，其特征在于：該玻璃加工方法具體步驟如下：

步驟S1：選取合適的激光光束；

步驟S2：對待加工的工件玻璃進行清洗去污，并將其水平放置于三維移動平臺之上，調節三維移動平臺的Z軸高度，使得激光光束的焦點位置位于工件玻璃下表面的設定范圍內，該設定范圍根據公式(1)確定：

D1=k1×π×df24λ×M2---(1)]]>

其中，D1為所述設定范圍，d_f為聚焦后光斑直徑大小，M²為激光光束質量因子，k1為修正系數，其大小介于0.1～0.9之間；

步驟S3：激光光束按照設定的圖案和路徑對工件玻璃進行刻劃加工，并在工件玻璃的底部形成切割槽體，所述設定的圖案采用螺旋線或者樣條曲線；所述螺旋線或者樣條曲線組成刻劃區域的大小介于0.2～1mm之間，偏移量的大小介于(0.3～1.3)d_f之間，所設定的路徑由工件玻璃的底部至頂部；

步驟S4：隨著切割槽體深度的增加，根據公式(2)得到的調整步距，以及公式(3)得到的步距調整時間，往復移動三維移動平臺的Z軸完成工件玻璃的刻劃加工過程；

D2=k2×π×df24λ---(2)]]>

其中，D2為所述調整步距，d_f為聚焦后光斑直徑大小，k2為修正系數，其大小介于0.3～0.7之間；

ΔT=k3×N×Σ1nLv---(3)]]>

其中，ΔT為所述步距調整時間，N為激光光束的刻劃次數，k3為修正系數，其大小介于1－10之間，與N成反相關，n為偏移圈數，L為每一圈刻劃路徑的周長，v為激光光束的刻劃速度；

步驟S5：對加工完成的工件玻璃進行清洗和測試。

2.根據權利要求1所述的采用激光刻劃玻璃加工方法，其特征在于：所述步驟S1中，選取激光光束的波長范圍介于255－532nm之間，激光光束的單脈沖能量應介于0.1～1mJ之間，激光光束的光斑大小應介于20～60um之間，激光光束的激光功率應介于5～50W之間。

3.根據權利要求1所述的采用激光刻劃玻璃加工方法，其特征在于：所述步驟S2中，采用濃度為99％的工業乙醇來擦拭工件玻璃。