[發(fā)明專利]含重氮基團的感光劑、光刻膠組合物與其制備方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410669245.3
• 申請日: 2014-11-20
• 公開（公告）號: CN104391428B
• 公開（公告）日: 2018-06-19
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 汪建國
• 申請（專利權(quán)）人: 京東方科技集團股份有限公司
• 主分類號: G03F7/016
• 分類號: G03F7/016;G03F7/039;C07C245/14
• 代理公司: 北京銀龍知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11243
• 代理人: 金鮮英;鐘海勝

1.一種光刻膠組合物，包括成膜樹脂、感光劑和有機溶劑，所述感光劑為(式I)所示的含有重氮基團的姜黃素感光劑；

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光刻膠組合物，其特征在于：所述光刻膠組合物由下述質(zhì)量份的組分組成：

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的光刻膠組合物，其特征在于：所述的成膜樹脂為線性酚醛樹脂。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的光刻膠組合物，其特征在于：所述的有機溶劑選自乙二醇甲醚醋酸酯、乙二醇單甲醚、乙二醇單乙醚、丙二醇單乙醚、甲乙酮、醋酸丁酯、二氧六環(huán)、N-甲基吡咯烷酮、甲醇、四氫呋喃中的一種或兩種以上任意組合。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的光刻膠組合物，其特征在于：所述染料添加劑選自堿性艷藍、結(jié)晶紫、維多利亞純藍、靛藍、甲基紫、孔雀石綠、油溶藍中的一種或兩種以上任意組合。

6.式I所示的含有重氮基團的姜黃素感光劑在制備光刻膠中的應(yīng)用；

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的應(yīng)用，其特征在于：所述光刻膠為液晶顯示器薄膜晶體管用正性光刻膠。