[發明專利]基于熱流能同時測量角速度和的加速度的陀螺儀在審
| 申請號： | 201410666373.2 | 申請日： | 2014-11-20 |
| 公開（公告）號： | CN104482929A | 公開（公告）日： | 2015-04-01 |
| 發明（設計）人： | 李以貴;王歡 | 申請（專利權）人： | 上海應用技術學院 |
| 主分類號： | G01C19/00 | 分類號： | G01C19/00;G01P15/12 |
| 代理公司： | 上海申匯專利代理有限公司 31001 | 代理人： | 吳寶根;王晶 |
| 地址： | 200235 *** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 基于 熱流 同時 測量 角速度 加速度 陀螺儀 | ||
【權利要求書】：
1.一種基于熱流能同時測量角速度和的加速度的陀螺儀，具有一個用于測量三軸角速度的角速度計（3），一個用于測量二軸的加速度的加速度計（4），一個壓電泵（1），其特征在于：所述角速度計（3）和加速度計（4）的硅芯片四周設有用于氣體流動的通道，所述壓電泵（1）置于硅泵槽中，壓電泵（1）的上、下面設有TBN光刻膠層，用于密封壓電泵中的氬氣。
2.根據權利要求1所述的所述基于熱流能同時測量角速度和的加速度的陀螺儀，其特征在于：所述硅芯片是金屬電阻絲的載體，由金屬絲構成惠斯通電橋。
3.根據權利要求2所述的所述基于熱流能同時測量角速度和的加速度的陀螺儀，其特征在于：所述金屬絲電阻材料為鉑。
4.根據權利要求1-3任一項所述的所述基于熱流能同時測量角速度和的加速度的陀螺儀，其特征在于：所述陀螺儀工作氣體為氬氣。
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