[發(fā)明專利]一種基于微納結(jié)構(gòu)的壓電聲波生物傳感器

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201410660446.7
• 申請(qǐng)日: 2014-11-18
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN104406881B
• 公開(kāi)（公告）日: 2017-09-26
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張志強(qiáng);黎海文;吳一輝
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中國(guó)科學(xué)院蘇州生物醫(yī)學(xué)工程技術(shù)研究所
• 主分類號(hào): G01N5/00
• 分類號(hào): G01N5/00;B81B7/02
• 代理公司: 北京科億知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙)11350
• 代理人: 湯東鳳

1.一種基于微納結(jié)構(gòu)的壓電聲波生物傳感器，包括石英晶振片和頻率計(jì)，所述石英晶振片包括石英晶片、設(shè)置在石英晶片上部的工作電極、設(shè)置在石英晶片下部的下電極，所述頻率計(jì)連接工作電極和下電極，其特征在于，所述石英晶振片表面設(shè)置微米結(jié)構(gòu)，所述微米結(jié)構(gòu)的制作方法是：將石英晶振片依次用丙酮、乙醇各超聲10min后吹干，用氧氣等離子體處理5min；然后旋涂一層六甲基二硅氮烷，然后旋涂一層光刻膠，光刻膠厚度在0.2～5μm之間，90℃下烘5～30min，接著，將涂有光刻膠的石英晶振片進(jìn)行紫外或深紫外曝光，曝光時(shí)間5s～3min，然后，將曝光后的石英晶振片浸入顯影液中，顯影后得到正膠或負(fù)膠微米結(jié)構(gòu)。

2.一種基于微納結(jié)構(gòu)的壓電聲波生物傳感器，包括石英晶振片和頻率計(jì)，所述石英晶振片包括石英晶片、設(shè)置在石英晶片上部的工作電極、設(shè)置在石英晶片下部的下電極，所述頻率計(jì)連接工作電極和下電極，其特征在于，所述石英晶振片表面設(shè)置微米結(jié)構(gòu)或納米結(jié)構(gòu)，所述微米結(jié)構(gòu)或納米結(jié)構(gòu)的制作方法是：將石英晶振片依次用丙酮、乙醇各超聲10min后吹干，用氧氣等離子體處理5min；然后旋涂一層粘附劑聚乙烯吡咯烷酮或三甲氧基硅烷，然后將其放入乙醇和去離子水中各清洗10min，之后在120℃下烘5min；然后旋涂一層電子束光刻膠，電子束光刻膠厚度在0.2～2μm之間，120℃下烘5～15min，接著，將涂有電子束光刻膠的石英晶振片進(jìn)行電子束曝光，然后，將曝光后的石英晶振片浸入顯影液中，顯影后得到正膠或負(fù)膠納米結(jié)構(gòu)或微米結(jié)構(gòu)。