[發明專利]一種晶棒切片系統

有效

• 申請號: 201410658645.4
• 申請日: 2014-11-18
• 公開（公告）號: CN104385470A
• 公開（公告）日: 2015-03-04
• 發明（設計）人: 田福明;儲德江
• 申請（專利權）人: 泉州市永茂電子科技有限公司
• 主分類號: B28D5/04
• 分類號: B28D5/04;B28D7/02;B28D7/04
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種晶棒切片系統，包括鋼線切割機構(17)和晶棒夾持運動機構(22)，所述鋼線切割機構(17)由鋼線(1)、線輥(2，18，19，20)和鋼線驅動裝置組成，所述晶棒夾持運動機構(22)可帶動待切割晶棒(23)沿水平方向和垂直方向運動，其特征在于：還包括水箱機構(16)，所述水箱機構(16)包括裝有切割水(4)的切割水箱(3)，兩個線輥(2，18)相隔一段距離平行設置在所述切割水箱(3)上方，兩個線輥(19，20)相隔一段距離水平設置在所述切割水箱(3)的切割水(4)的水面以下并完全沒入切割水(4)中，所述鋼線(1)通過所述四個線輥(2，18，19，20)使得切割水(4)中的工作鋼線部分(21)平行設置，所述晶棒夾持運動機構(22)夾持晶棒(23)的兩端，帶動晶棒(23)垂直向下運動并完全沒入切割水(4)中，使得晶棒(23)的棒身與工作鋼線(21)接觸進行切片。

2.如權利要求1所述的晶棒切片系統，所述水箱機構(16)還包括過濾水箱(5)以及連接在切割水箱(3)和裝有過濾水(6)的過濾水箱(5)之間的抽水管道(7)和排水管道(8)；所述抽水管道(7)上設置有抽水泵，所述過濾水箱(5)中設置有過濾器。

3.如權利要求1所述的晶棒切片系統，所述晶棒夾持運動機構(22)為龍門架結構，包括左底座(15)和右底座(24)、分別設置在所述左底座(15)和右底座(24)上的左垂直滑動柱(12)和右垂直滑動柱(25)、滑動設置在所述左垂直滑動柱(12)和右垂直滑動柱(25)上的水平滑動梁(11)以及滑動設置在水平滑動梁(11)上的晶棒夾具(9)。

4.如權利要求3所述的晶棒切片系統，所述左垂直滑動柱上(12)設置有水平滑動梁驅動電機(14)，用于驅動水平滑動橫梁沿左右垂直滑動柱垂直運動，所述水平滑動梁(11)上設置有晶棒夾具驅動電機(13)，用于驅動晶棒夾具(9)沿水平滑動橫梁水平運動，所述晶棒夾具(9)上設置有晶棒旋轉驅動電機(23)，使得夾持在晶棒夾具(9)上的晶棒(23)能夠做高速旋轉。

5.如權利要求1所述的晶棒切片系統，所述鋼線切割機構(17)中設置多條鋼線(1)，各鋼線(1)兩兩相隔一定距離分別在所述四個線輥上水平分布。

6.如權利要求2所述的晶片切割系統，所述抽水管道(7)設置在切割切割水箱(3)一側上部，所述排水管道(8)設置在所述切割水箱(3)的另一側下部。

7.如權利要求4所述的晶棒切片系統，所述晶棒夾具(9)通過連接板(28)與所述水平滑動橫梁(11)滑動連接，在所述連接板(28)上分別固定設置有前夾板(30)和滑動設置有后夾板(29)，所述前夾板(30)和后夾板(29)的下部分別轉動連接有用于夾持晶棒(23)的后卡盤(33)和前卡盤(32)，所述前卡盤(32)與設置在所述前夾板(30)上的晶棒旋轉驅動電機(23)的轉動輸出軸連接，還包括定位氣缸(26)，所述定位氣缸的氣缸桿(31)連接在所述后夾板(29)上，所述定位氣缸(26)與固定板(27)固定連接，所述固定板(27)固定連接在所述連接板(28)上。