[發(fā)明專(zhuān)利]一種多注陰極燈絲刻蝕方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201410657500.2
• 申請(qǐng)日: 2015-08-04
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN104505321A
• 公開(kāi)（公告）日: 2015-07-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 孟昭紅;陳愛(ài)民;于晨晨;卞磊;王瑩
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 安徽華東光電技術(shù)研究所
• 主分類(lèi)號(hào): H01J9/02
• 分類(lèi)號(hào): H01J9/02
• 代理公司: 南京縱橫知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 32224
• 代理人: 董建林

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種多注陰極燈絲刻蝕方法，屬于微波真空電子器件領(lǐng)域，具體屬于行波管的陰極制造領(lǐng)域。

背景技術(shù)

與傳統(tǒng)的單注行波管相比，多注行波管最主要的優(yōu)點(diǎn)就在于體積小、重量輕、工作電壓更低，為此增大整管輸出功率必須依靠提高與之匹配的多注陰極發(fā)射電流。在設(shè)計(jì)多注陰極時(shí)，需要充分考慮到耐離子轟擊、耐高壓、耐中毒、耐振動(dòng)、耐沖擊、抗打火、發(fā)射能力以及壽命長(zhǎng)等諸多因素。

多注陰極結(jié)構(gòu)是由陰極基體、燈絲組件和熱屏三部分組成，燈絲組件是加熱體，它擔(dān)負(fù)著對(duì)陰極加熱，并使其達(dá)到工作溫度的任務(wù)。實(shí)踐表明：燈絲組件的損壞是影響行波管壽命的主要原因之一，而有三分之一以上是由于燈絲組件的缺陷引起的，因此如何提高燈絲組件的質(zhì)量是陰極制作過(guò)程的關(guān)鍵。

燈絲組件由鎢錸絲通過(guò)絕緣粉料灌注在鉬筒內(nèi)而成，在灌封燒結(jié)前，需要將鎢錸絲中工作圈內(nèi)的芯桿(鉬絲)刻蝕掉，使鎢錸絲形成彈簧狀，燈絲腿及轉(zhuǎn)彎處通過(guò)清漆涂覆保護(hù)起來(lái)，避免在刻蝕時(shí)刻蝕溶液腐蝕燈絲腿和轉(zhuǎn)彎處的鉬絲芯桿。

隨著多注行波管向高電流密度和長(zhǎng)壽命的發(fā)展，傳統(tǒng)燈絲刻蝕后的鎢錸合金材料做成的燈絲組件出現(xiàn)分層、絕緣性差、通斷次數(shù)少等缺點(diǎn)，為了彌補(bǔ)這些缺點(diǎn)，對(duì)多注陰極燈絲刻蝕方法進(jìn)行改進(jìn)，從而刻蝕出高質(zhì)量的燈絲是極其有益之舉。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的主要目的在于，克服現(xiàn)有技術(shù)中的不足，提供一種多注陰極燈絲刻蝕方法，可彌補(bǔ)傳統(tǒng)燈絲刻蝕存在的諸多缺點(diǎn)，不僅增加燈絲組件的通斷次數(shù)，提高灌注物絕緣性能，而且可避免鎢錸合金絲材料分層現(xiàn)象，更好滿足多注行波管發(fā)展的需求，極具有產(chǎn)業(yè)上的利用價(jià)值。

為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明所采用的技術(shù)方案是：

一種多注陰極燈絲刻蝕方法，包括以下步驟：

步驟1：配制用于刻蝕反應(yīng)的刻蝕溶液；

步驟2：配制用于中和處理的堿性溶液；

步驟3：將待刻蝕燈絲浸泡在步驟1所配制的刻蝕溶液中進(jìn)行刻蝕處理；

步驟4：對(duì)經(jīng)步驟3的已刻蝕燈絲進(jìn)行刻蝕溶液殘余的沖洗；

對(duì)沖洗后的已刻蝕燈絲進(jìn)行抽檢處理，如果抽檢合格則進(jìn)入步驟5，如果抽檢不合格則返回步驟3；

對(duì)經(jīng)返回步驟3的已刻蝕燈絲在煮沸的蒸餾水中進(jìn)行刻蝕溶液殘余的清洗，清洗完畢后進(jìn)入步驟5；

步驟5：將經(jīng)步驟4的已刻蝕燈絲浸沒(méi)在步驟2所配制的堿性溶液中進(jìn)行中和處理；

步驟6：對(duì)經(jīng)步驟5的已中和燈絲用大量的蒸餾水進(jìn)行堿性溶液殘余的沖洗；

并對(duì)沖洗過(guò)的沖洗水進(jìn)行PH值檢測(cè)，如果PH值大于7則繼續(xù)沖洗，直到PH值在7以下則進(jìn)入步驟7；

步驟7：將經(jīng)步驟6的已沖洗燈絲進(jìn)行脫水處理；

步驟8：將經(jīng)步驟7的已脫水燈絲進(jìn)行干燥處理，后將已干燥燈絲進(jìn)行保存。

本發(fā)明進(jìn)一步設(shè)置為，所述步驟1的刻蝕溶液按下列成分配制：

硫酸：1～2kg/L；

硝酸：2～3kg/L。

本發(fā)明更進(jìn)一步設(shè)置為，所述步驟2的堿性溶液按下列成分配制：氨水：40～60g/L。

本發(fā)明更進(jìn)一步設(shè)置為，所述步驟3的刻蝕處理依次包括步驟：

步驟3-1：將準(zhǔn)備好的涂覆過(guò)清漆的待刻蝕燈絲放入空的燒杯一中；

步驟3-2：將步驟1所配制的刻蝕溶液倒入燒杯一，刻蝕溶液完全浸沒(méi)待刻蝕燈絲；

步驟3-3：等待浸泡在刻蝕溶液中的待刻蝕燈絲不再有氣泡急劇析出，判定刻蝕處理已經(jīng)完成，即可取出已刻蝕燈絲。

本發(fā)明更進(jìn)一步設(shè)置為：所述步驟4的刻蝕溶液殘余的沖洗是用流動(dòng)的自來(lái)水進(jìn)行沖洗，沖洗時(shí)間為3～5分鐘。

本發(fā)明更進(jìn)一步設(shè)置為：所述步驟4的抽檢處理是將沖洗后的已刻蝕燈絲放置在顯微鏡下、放大10～15倍，對(duì)抽取到的已刻蝕燈絲、檢查需要刻蝕掉的部位內(nèi)是否存有鉬的殘余物；

所述步驟4的刻蝕溶液殘余的清洗所用煮沸的蒸餾水不少于0.5L，煮沸時(shí)間持續(xù)30分鐘。

本發(fā)明更進(jìn)一步設(shè)置為：所述步驟5的中和處理具體是，將步驟2所配制的堿性溶液倒入空的燒杯二，再將經(jīng)步驟4的已刻蝕燈絲完全浸沒(méi)在燒杯二的堿性溶液中，并用玻璃棒不停地?cái)嚢锜械囊芽涛g燈絲，中和時(shí)間保持在5～7分鐘。

本發(fā)明更進(jìn)一步設(shè)置為：所述步驟7的脫水處理是將經(jīng)步驟6的已沖洗燈絲浸沒(méi)在丙酮溶液中進(jìn)行脫水。