[發(fā)明專利]基于已知先驗信息約束的疊層成像技術

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• 申請?zhí)枺?/td>: 201410654564.7
• 申請日: 2015-08-05
• 公開（公告）號: CN104501781A
• 公開（公告）日: 2015-08-05
• 發(fā)明（設計）人: 史祎詩;張駿;李拓;王雅麗;高乾坤;陳岳東
• 申請（專利權）人: 中國科學院大學
• 主分類號: G01C11/02
• 分類號: G01C11/02
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種在已知待測樣品周圍部分先驗信息情況下的疊層成像技術，其成像過程包括以下步驟：

第一步，在待測樣品周圍放置已知信息的樣本；

第二步，將待測樣品在物平面內以疊層掃描的方式進行平移，并用圖像傳感器依次記錄各掃描位置所對應的強度圖像；

第三步，使用基于已知周圍先驗信息的疊層掃描迭代算法重建待測樣品的復振幅圖像。

2.如權利要求1中所使用的已知周圍先驗信息的疊層掃描迭代重建算法，其特征在于，在已知待測樣品周圍的圖像信息的基礎上對待測樣品進行迭代重建，通過已知信息的約束，使得掃描過程中抗平移誤差能力更強，同時也有更好的抗噪聲能力。

3.如權利要求1中所使用的已知周圍先驗信息的疊層掃描迭代重建算法，其特征在于，通過已知信息的約束，使得恢復樣本信息圖像的收斂速度更快。

4.如權利要求1、2和3中所述的疊層掃描，其特征在于，待測樣品在物平面二維坐標內依次平移一定的距離完成掃描，并保證相鄰平移位置間待測樣品上被光束照明的區(qū)域內存在一定的交疊。

5.如權利要求1、2和3中所述的疊層掃描，其特征在于，可以根據(jù)實際照明光束和待測樣品的相對大小進行優(yōu)化設計。

6.如權利要求1中所述的已知待測樣品周圍一部分先驗信息情況下的疊層成像技術，可適用于各種反射型或透射型物體的成像。