[發明專利]用于多晶硅定向凝固工藝的多晶爐有效
| 申請號： | 201410652325.8 | 申請日： | 2014-11-17 |
| 公開（公告）號： | CN105648525B | 公開（公告）日： | 2018-07-10 |
| 發明（設計）人： | 唐駿;孟濤;路景剛;余剛 | 申請（專利權）人： | 鎮江榮德新能源科技有限公司 |
| 主分類號： | C30B28/06 | 分類號： | C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京金信知識產權代理有限公司 11225 | 代理人： | 黃威;佛新瑜 |
| 地址： | 212200 江蘇省鎮*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 氬氣 石英坩堝 定向凝固工藝 坩堝蓋板 多晶硅 多晶爐 爐體 抽氣管 局部阻力 流程阻力 流動過程 輸入管 順暢性 氬氣流 旋渦 延伸 抽送 氣道 熱場 流出 穿過 流動 | ||
【權利要求書】：
1.用于多晶硅定向凝固工藝的多晶爐，其特征在于，包括：
一爐體，所述爐體的頂部設置有氬氣輸入管，且所述爐體的側面上設置有氬氣出口；
熱場，所述熱場位于所述爐體內，其為一由多塊保溫板圍成的腔室，每塊保溫板之間具有供氬氣流動的第一氣道；
石英坩堝，所述石英坩堝位于所述熱場內，其包括一坩堝蓋板，所述坩堝蓋板與所述石英坩堝之間預設有供氬氣流出的第二氣道，所述氬氣輸入管延伸至所述熱場內并穿過所述坩堝蓋板以使氬氣通過其進入所述石英坩堝；
所述爐體上還設置有抽氣管，所述抽氣管延伸至所述熱場內并從所述熱場內向所述爐體外抽送氬氣。
2.如權利要求1所述的用于多晶硅定向凝固工藝的多晶爐，其特征在于，所述抽氣管設置在所述爐體的頂部，且所述抽氣管由位于所述坩堝蓋板上方的所述保溫板上穿入所述熱場，并且所述抽氣管位于所述熱場內的管口靠近所述第二氣道。
3.如權利要求1所述的用于多晶硅定向凝固工藝的多晶爐，其特征在于，所述抽氣管為石墨管。
4.如權利要求1所述的用于多晶硅定向凝固工藝的多晶爐，其特征在于，所述保溫板為碳纖維材料或碳碳復合材料。
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