[發(fā)明專(zhuān)利]一種微束X射線熒光譜儀

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201410649766.2
• 申請(qǐng)日: 2014-11-17
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN104316553A
• 公開(kāi)（公告）日: 2015-01-28
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 程琳;王君玲;段澤明;李融武;潘秋麗
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 北京師范大學(xué);北京市輻射中心
• 主分類(lèi)號(hào): G01N23/223
• 分類(lèi)號(hào): G01N23/223
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

1.一種微束X射線熒光譜儀，其特征在于，包括：X射線管(1)，毛細(xì)管X光匯聚透鏡(2)，樣品臺(tái)(4)，位移傳感器(5)，數(shù)模轉(zhuǎn)換卡(6)，計(jì)算機(jī)(7)；

所述X射線管(1)位于所述樣品臺(tái)(4)的上方，X射線透過(guò)所述毛細(xì)管X光匯聚透鏡(2)照射到樣品臺(tái)(4)上的樣品(3)上，所述樣品(3)與所述毛細(xì)管X光匯聚透鏡(2)之間的距離等于毛細(xì)管X光匯聚透鏡(2)的后焦距；

所述位移傳感器(5)位于所述樣品(3)的斜上方，其探測(cè)點(diǎn)與被測(cè)試點(diǎn)為同一點(diǎn)；所述位移傳感器(5)與所述計(jì)算機(jī)(6)電連接，用于探測(cè)所述樣品(3)與所述位移傳感器(5)之間的垂直距離H，并將距離H的信號(hào)通過(guò)數(shù)模轉(zhuǎn)換卡(6)變成數(shù)字信號(hào)傳遞給計(jì)算機(jī)(7)；

所述計(jì)算機(jī)(7)通過(guò)控制所述樣品臺(tái)(4)與毛細(xì)管X光匯聚透鏡(2)之間的距離，保持樣品(3)的被測(cè)試點(diǎn)處于毛細(xì)管X光透鏡的后焦距的位置。

2.如權(quán)利要求1所述的一種微束X射線熒光譜儀，其特征在于，所述計(jì)算機(jī)(7)將信號(hào)傳遞給步進(jìn)電機(jī)控制器(8)，隨后步進(jìn)電機(jī)控制器(8)將信號(hào)傳遞給步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)器(9)，再由步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)器(9)驅(qū)動(dòng)由4個(gè)步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)樣品臺(tái)(4)向XYZθ四個(gè)方向運(yùn)動(dòng)。

3.如權(quán)利要求1所述的一種微束X射線熒光譜儀，其特征在于，所述位移傳感器(5)與水平面成45°夾角。

4.如權(quán)利要求1所述的一種微束X射線熒光譜儀，其特征在于，所述位移傳感器(5)采用高精度分辨率小于5微米的激光位移傳感器。

5.如權(quán)利要求1所述的一種微束X射線熒光譜儀，其特征在于，所述X射線管(1)采用Oxford?50微米，50瓦微焦斑X射線管。