[發明專利]顯示器件轉印定位裝置及其方法

有效

• 申請號: 201410649420.2
• 申請日: 2014-11-14
• 公開（公告）號: CN104465474B
• 公開（公告）日: 2017-09-15
• 發明（設計）人: 朱濤;葛泳;劉玉成;劉雪洲
• 申請（專利權）人: 昆山工研院新型平板顯示技術中心有限公司;昆山國顯光電有限公司
• 主分類號: H01L21/68
• 分類號: H01L21/68
• 代理公司: 廣州華進聯合專利商標代理有限公司44224
• 代理人: 唐清凱

1.一種顯示器件轉印定位裝置，用于將芯片轉印定位到基板上，其特征在于，所述顯示器件轉印定位裝置包括：

轉印頭，位于所述基板上方，用于將芯片轉印到所述基板的表面上；

電容組件，所述電容組件包括第一電極陣列和與所述第一電極陣列對應的感應單元，所述第一電極陣列設置在所述基板上，所述感應單元設置在所述轉印頭的與所述基板相對應的轉印表面上，所述第一電極陣列包括至少一個第一電極單元，所述第一電極單元在所述第一電極陣列的一個方向上相互連接，在另一個方向上，各個第一電極單元是相互獨立的，且所述另一個方向上的相鄰兩個所述第一電極單元之間形成互感電容。

2.根據權利要求1所述的顯示器件轉印定位裝置，其特征在于，所述第一電極單元的形狀為多邊形。

3.根據權利要求1所述的顯示器件轉印定位裝置，其特征在于，所述感應單元為電容傳感器，用于感應所述第一電極陣列的互感電容。

4.根據權利要求1所述的顯示器件轉印定位裝置，其特征在于，所述感應單元為第二電極陣列，用于和所述第一電極陣列之間形成互感電容。

5.根據權利要求4所述的顯示器件轉印定位裝置，其特征在于，所述第二電極陣列包括至少一個第二電極單元。

6.一種顯示器件轉印定位方法，其特征在于，所述方法包括：

制作電容組件，其中，所述電容組件包括第一電極陣列，以及與所述第一電極陣列對應的感應單元，在基板上制作第一電極陣列，并在轉印頭上制作與所述第一電極陣列對應的感應單元，并將所述第一電極陣列和所述感應單元接入到控制電路中；

在所述基板垂直的方向上，移動所述轉印頭，并測量所述第一電極陣列和所述感應單元之間的互感信號值，根據預先設定的互感信號值，確定所述轉印頭距離所述基板的垂直高度；

測量所述感應單元和所述第一電極陣列上的各個位置之間的互感信號值，并根據所述互感信號值，定位所述轉印頭的水平位置。

7.根據權利要求6所述的顯示器件轉印定位方法，其特征在于，所述第一電極陣列包括至少一個第一電極單元，且所述第一電極單元在所述第一電極陣列在一個方向上相互連接。

8.根據權利要求6所述的顯示器件轉印定位方法，其特征在于，所述方法還包括根據所述轉印頭和所述基板之間的互感信號，確定轉印到所述基板上的芯片的狀態。