[發(fā)明專利]超聲波器件及其制造方法、電子設(shè)備及超聲波圖像裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201410647455.2
• 申請(qǐng)日: 2014-11-14
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN104644211B
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-03-15
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 清瀨攝內(nèi)
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 精工愛(ài)普生株式會(huì)社
• 主分類號(hào): A61B8/00
• 分類號(hào): A61B8/00
• 代理公司: 北京康信知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11240
• 代理人: 余剛;吳孟秋

1.一種超聲波器件，其特征在于，具備：

基板，具有第一開(kāi)口及第二開(kāi)口、和將所述第一開(kāi)口及所述第二開(kāi)口間隔開(kāi)的壁部，所述壁部具有在所述基板的厚度方向?yàn)榈谝桓叨鹊牡谝槐诓亢捅人龅谝桓叨雀叩牡诙叨鹊牡诙诓浚?/p>

第一振動(dòng)膜，閉塞所述第一開(kāi)口；

第二振動(dòng)膜，閉塞所述第二開(kāi)口；

第一壓電元件，形成在所述第一振動(dòng)膜的與所述基板相反一側(cè)的面上；

第二壓電元件，形成在所述第二振動(dòng)膜的與所述基板相反一側(cè)的面上；以及

聲匹配層，以與所述第一振動(dòng)膜和所述第二振動(dòng)膜接觸的方式而配置于所述第一開(kāi)口內(nèi)和所述第二開(kāi)口內(nèi)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的超聲波器件，其特征在于，

所述第一開(kāi)口為多個(gè)且排列成列狀，所述第二開(kāi)口為多個(gè)且排列成與所述第一開(kāi)口的排列并列的列狀。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的超聲波器件，其特征在于，

還具備與所述第二壁部接觸并與所述聲匹配層結(jié)合的聲透鏡。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的超聲波器件，其特征在于，

在所述聲透鏡與所述第一壁部之間配置所述聲匹配層。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的超聲波器件，其特征在于，

所述超聲波器件具備在從所述基板的厚度方向觀察的俯視觀察中連續(xù)地包圍所述第一開(kāi)口以及所述第二開(kāi)口、且在所述基板的厚度方向上比所述壁部高的外框。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的超聲波器件，其特征在于，

所述第一振動(dòng)膜具有第一共振頻率，所述第二振動(dòng)膜具有與所述第一共振頻率不同的第二共振頻率。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的超聲波器件，其特征在于，

所述聲匹配層在所述第一開(kāi)口以及所述第二開(kāi)口具有相等的厚度。

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的超聲波器件，其特征在于，

所述聲匹配層在所述第一開(kāi)口以及所述第二開(kāi)口具有不同的厚度。

9.一種探測(cè)器，其特征在于，具備：

權(quán)利要求1至8中任一項(xiàng)所述的超聲波器件；以及

框體，支撐所述超聲波器件。

10.一種電子設(shè)備，其特征在于，具備：

權(quán)利要求1至8中任一項(xiàng)所述的超聲波器件；以及

處理裝置，與所述超聲波器件連接，并處理所述超聲波器件的輸出。

11.一種超聲波圖像裝置，其特征在于，具備：

權(quán)利要求1至8中任一項(xiàng)所述的超聲波器件；以及

顯示裝置，顯示基于所述超聲波器件的輸出生成的圖像。

12.一種超聲波器件的制造方法，其特征在于，具備：

在第一面具有膜材料的基板的所述膜材料的表面形成第一壓電元件和第二壓電元件的工序；

從所述第一面的背側(cè)的第二面在所述基板上形成彼此由壁部間隔開(kāi)的第一開(kāi)口和第二開(kāi)口并在所述膜材料上形成支撐所述第一壓電元件的第一振動(dòng)膜和支撐所述第二壓電元件的第二振動(dòng)膜的工序；

使聲匹配層的原材料的流動(dòng)體流入所述第一開(kāi)口和所述第二開(kāi)口的工序；以及

使聲透鏡覆蓋流入的所述流動(dòng)體并使所述流動(dòng)體固化而粘合所述聲透鏡的工序。

13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的超聲波器件的制造方法，其特征在于，

所述壁部具有在所述基板的厚度方向?yàn)榈谝桓叨鹊牡谝槐诓亢捅人龅谝桓叨雀叩牡诙叨鹊牡诙诓俊?/p>

14.根據(jù)權(quán)利要求12或13所述的超聲波器件的制造方法，其特征在于，

在形成所述第一開(kāi)口以及所述第二開(kāi)口時(shí)，由所述膜材料的平坦的所述表面形成第一膜厚的所述第一振動(dòng)膜以及第二膜厚的所述第二振動(dòng)膜。