[發(fā)明專利]激光等離子體譜測量裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201410647333.3
• 申請(qǐng)日: 2014-11-14
• 公開（公告）號(hào): CN104515754B
• 公開（公告）日: 2018-03-06
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 蔡志龍;王陽;楊秋松;吳誼群
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中國科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所
• 主分類號(hào): G01N21/63
• 分類號(hào): G01N21/63
• 代理公司: 上海新天專利代理有限公司31213
• 代理人: 張澤純,張寧展

1.一種激光等離子體譜測量裝置，其特征在于該裝置由激光激發(fā)和同步子系統(tǒng)、反射率監(jiān)控子系統(tǒng)、等離子體光譜接收子系統(tǒng)和樣品臺(tái)構(gòu)成；所述的激光激發(fā)和同步子系統(tǒng)包括激發(fā)光源(1)、分光片(2)、第一聚焦透鏡(3)、第一光電探測器(4)和示波器(5)，沿所述的激發(fā)光源(1)的激光輸出方向依次是分光片(2)、第一聚焦透鏡(3)和樣品(18)，在所述的分光片(2)的反射光方向是第一光電探測器(4)，該第一光電探測器(4)的輸出端接所述的示波器(5)的輸入端；所述的反射率監(jiān)控子系統(tǒng)由探測光源(6)、衰減片(7)、第二聚焦透鏡(8)、第三聚焦透鏡(9)、濾波片(10)、第二光電探測器(11)和示波器(5)構(gòu)成，沿所述的探測光源(6)的激光輸出方向依次是所述的衰減片(7)、第二聚焦透鏡(8)和樣品(18)，在經(jīng)過樣品(18)的探測光的反射方向依次是第三聚焦透鏡(9)、濾波片(10)、第二光電探測器(11)，該第二光電探測器(11)的輸出端接所述的示波器(5)的輸入端；所述的等離子體光譜接收子系統(tǒng)由第四聚焦透鏡(12)、光纖耦合探頭(13)、光纖(14)、光譜儀(15)和計(jì)算機(jī)(16)構(gòu)成，在經(jīng)過樣品(18)的激發(fā)光的接收方向依次是所述的第四聚焦透鏡(12)、光纖耦合探頭(13)、光纖(14)、光譜儀(15)，所述的光譜儀(15)的輸出端接所述的計(jì)算機(jī)(16)的輸入端；所述的樣品臺(tái)為電控樣品移動(dòng)臺(tái)(17)，所述的計(jì)算機(jī)(16)的輸出端接所述的電控樣品移動(dòng)臺(tái)(17)的控制端，所述的樣品(18)固定在所述的電控樣品移動(dòng)臺(tái)(17)上，所述的第一聚焦透鏡(3)、第二聚焦透鏡(8)、第三聚焦透鏡(9)和第四聚焦透鏡(12)的焦點(diǎn)在所述的樣品(18)的同一點(diǎn)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光等離子體譜測量裝置，其特征在于所述的激發(fā)光源(1)為摻鈦藍(lán)寶石飛秒激光器。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光等離子體譜測量裝置，其特征在于所述的探測光源(6)為連續(xù)半導(dǎo)體激光器。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光等離子體譜測量裝置，其特征在于所述的光譜儀(15)由中階梯光柵和ICCD組成。