[發明專利]一種泡生法藍寶石晶體生長的工藝機器人系統無效
| 申請號： | 201410647025.0 | 申請日： | 2014-11-17 |
| 公開（公告）號： | CN104389019A | 公開（公告）日： | 2015-03-04 |
| 發明（設計）人： | 劉瑜;陳曉玲 | 申請（專利權）人： | 劉瑜 |
| 主分類號： | C30B29/20 | 分類號： | C30B29/20;C30B17/00 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 310013 浙江省杭州市*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 泡生法 藍寶石 晶體生長 工藝 機器人 系統 | ||
【權利要求書】：
1.一種泡生法藍寶石晶體生長的工藝機器人系統，其特征在于：設置四個組成部分：工藝參數采集系統、工藝進程模擬系統、工藝可靠性分析系統及工藝參數改進系統。
2.根據權利要求1所述的一種泡生法藍寶石晶體生長的工藝機器人系統，其特征在于：所述的工藝參數采集系統是檢測傳感器的數據，形成反應晶體生長狀態的工藝參數，所述的傳感器包括檢測晶體質量的重量傳感器、檢測晶體位置的位置傳感器和檢測冷卻水溫度的水溫傳感器。
3.根據權利要求1所述的一種泡生法藍寶石晶體生長的工藝機器人系統，其特征在于：所述的工藝進程模擬系統設置晶體生長理論所形成的長晶核心算法，所述的長晶核心算法根據所述的工藝參數采集系統獲得的工藝參數再現晶體生長的狀態。
4.根據權利要求1所述的一種泡生法藍寶石晶體生長的工藝機器人系統，其特征在于：所述的工藝可靠性分析系統是基于晶體生長的狀態和工藝參數，判斷整個工藝完成情況的系統。
5.根據權利要求1所述的一種泡生法藍寶石晶體生長的工藝機器人系統，其特征在于：所述的工藝參數改進系統則是基于所述的工藝可靠性分析系統的結果，對所述的工藝參數進行即時調整的程序。
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