[發明專利]振動片、振子以及傳感器

有效

• 申請號: 201410645694.4
• 申請日: 2011-04-07
• 公開（公告）號: CN104506160B
• 公開（公告）日: 2017-08-25
• 發明（設計）人: 山田明法
• 申請（專利權）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: H03H9/215
• 分類號: H03H9/215
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司11127
• 代理人: 李輝,黃綸偉

本申請是申請日為2011年4月7日，申請號為201110086238.7，發明名稱為“振動片以及振子”的發明專利申請的分案申請。

技術領域

本發明涉及振動片以及具有該振動片的振子。

背景技術

以往，公知有如下的振動片：該振動片具有振動臂以及結合振動臂的基部，在振動臂與基部的結合部設有關于振動臂的振動中心對稱的錐形部(例如參照專利文獻1)。

【專利文獻1】日本特開2005-5896號公報

在這樣的專利文獻1中，通過在振動臂與基部的結合部設置錐形部，由此抑制了基本振動的泄漏，從而提高了Q值，不會對振動模式造成影響。并且，專利文獻1的目的在于，防止振動片受到沖擊力時發生損壞，并防止振動模式的劣化。

但是，在實際地設置錐形部的情況下，有時會由于錐形部的形狀而使Q值劣化。這是由以下原因導致的，即：與通過設置錐形部帶來的振動泄漏的抑制效果即Q值的上升相比，由錐形部的形狀引起的熱彈性損失更高。

發明內容

本發明是為了解決上述課題中的至少一部分而完成的，可作為以下方式或應用例來實現。

[應用例1]本應用例的振動片的特征在于，該振動片具有：至少一個振動臂，其進行彎曲振動；基部，其結合所述振動臂的端部；以及錐形部，其關于所述振動臂的振動中心對稱，隨著從所述錐形部與所述振動臂的結合部靠近所述錐形部與所述基部的結合部，該錐形部的寬度變寬，當用L表示所述振動臂的長度、用W表示所述振動臂的寬度、用Lt表示所述錐形部的長度、用Wt表示所述錐形部的寬度時，利用錐形長度占有率η＝Lt/L和錐形寬度占有率ξ＝2Wt/W來規定所述錐形部的形狀。

根據本應用例，利用錐形長度占有率η和錐形寬度占有率ξ來規定錐形部的形狀，由此，可找出能夠抑制熱彈性損失的錐形形狀，其結果，與未設置錐形部的情況相比，或者與簡單地設置錐形部的情況相比，提高了Q值，從而能夠實現具有穩定的振動模式的振動片。

[應用例2]上述應用例的振動片優選為，對于處于0.0168≦η≦0.1680的范圍的所述錐形長度占有率η，所述錐形寬度占有率ξ處于以下范圍：

2.409η²+4.728×10^-2η+2.959×10^-2≤ξ≤-4.723×10¹η²+1.434×10¹η+1.711×10^-2，

所述錐形部的形狀由連接所述錐形部與所述振動臂的結合位置和所述錐形部與所述基部的結合位置的直線或曲線形成。

通過相對于錐形長度占有率η將錐形寬度占有率ξ設定在這樣的范圍內，由此，與未設置錐形部時的Q值相比，能夠得到大約1.1倍的Q值。

[應用例3]上述應用例的振動片優選為，對于處于0.0168≦η≦0.1680的范圍的所述錐形長度占有率η，所述錐形寬度占有率ξ處于以下范圍：

9.417η²-6.358×10^-1η+9.984×10^-2≤ξ≤-5.255×10¹η²+1.394×10¹η-1.219×10^-1，

所述錐形部的形狀由連接所述錐形部與所述振動臂的結合位置和所述錐形部與所述基部的結合位置的直線或曲線形成。

這樣，通過相對于錐形長度占有率η將錐形寬度占有率ξ設定在這樣的范圍內，由此，與未設置錐形部時的Q值相比，能夠得到大約1.2倍的Q值。

[應用例4]上述應用例的振動片優選為，對于處于0.0504≦η≦0.1260的范圍的所述錐形長度占有率η，所述錐形寬度占有率ξ處于以下范圍：

5.191×10¹η²-6.959η+4.339×10^-1≤ξ≤-9.160×10¹η²+1.899×10¹η-4.679×10^-1，

所述錐形部的形狀由連接所述錐形部與所述振動臂的結合位置和所述錐形部與所述基部的結合位置的直線或曲線形成。

這樣，通過相對于錐形長度占有率η將錐形寬度占有率ξ設定在這樣的范圍內，由此，與未設置錐形部時的Q值相比，能夠得到大約1.3倍的Q值。