[發明專利]真空泵及其運轉方法

有效

• 申請號: 201410645097.1
• 申請日: 2014-11-12
• 公開（公告）號: CN104632599B
• 公開（公告）日: 2018-05-04
• 發明（設計）人: 巖崎弘一
• 申請（專利權）人: 株式會社荏原制作所
• 主分類號: F04B49/06
• 分類號: F04B49/06
• 代理公司: 北京市金杜律師事務所11256
• 代理人: 陳偉

1.一種真空泵，其特征在于，具有：

對氣體進行排氣的泵組件；

驅動所述泵組件的馬達；

向所述馬達提供頻率可變的交流電的逆變器裝置；以及

控制所述逆變器裝置的控制裝置，

在發生了由過電壓或過電流導致的錯誤的情況下，所述逆變器裝置停止自身的運轉，

如果所述錯誤的發生滿足規定的條件，則所述控制裝置在所述馬達完全停止前使所述逆變器裝置重啟，從而使所述泵組件的運轉繼續。

2.根據權利要求1所述的真空泵，其特征在于，

所述規定的條件是，從停電恢復而重新開始電力供給開始在規定的時間以內發生了錯誤。

3.根據權利要求1所述的真空泵，其特征在于，

所述規定的條件是，從所述逆變器裝置按照來自所述控制裝置的指令使所述馬達的減速開始的時刻開始在規定的時間以內發生了錯誤。

4.根據權利要求1所述的真空泵，其特征在于，

所述規定的條件是，在所述逆變器裝置使所述馬達以比其額定速度低的空轉速度旋轉時發生了錯誤。

5.根據權利要求1～4中任一項所述的真空泵，其特征在于，

所述控制裝置對所述錯誤發生的次數進行計數，當在規定的監視時間內未發生所述錯誤時將所述計數的次數重置為0，在所述計數的次數達到規定的閾值的情況下，不使所述逆變器裝置重啟。

6.一種真空泵，其特征在于，具有：

對氣體進行排氣的泵組件；

驅動所述泵組件的馬達；

向所述馬達提供頻率可變的交流電的逆變器裝置；

對時間進行計測的計時器；以及

控制所述逆變器裝置的控制裝置，

在發生了由過電壓或過電流導致的錯誤的情況下，所述逆變器裝置停止自身的運轉，

所述控制裝置將錯誤解除信號發送至所述逆變器裝置，所述錯誤解除信號用于解除在預定的期間內發生的錯誤，

若所述逆變器裝置接收到所述錯誤解除信號，則在所述預定的期間內發生了所述錯誤的情況下所述逆變器裝置不使自身的運轉停止，從而使所述泵組件的運轉繼續。

7.根據權利要求6所述的真空泵，其特征在于，

所述預定的期間是，從停電恢復而重新開始電力供給的時刻到經過規定的時間為止的期間。

8.根據權利要求6所述的真空泵，其特征在于，

所述預定的期間是，從所述逆變器裝置按照來自所述控制裝置的指令使所述馬達的減速開始的時刻到經過規定的時間為止的期間。

9.根據權利要求6所述的真空泵，其特征在于，

所述預定的期間是，所述逆變器裝置使所述馬達以比其額定速度低的空轉速度旋轉的期間。

10.根據權利要求6至9中任一項所述的真空泵，其特征在于，

所述控制裝置對所述錯誤發生的次數進行計數，當在規定的監視時間內未發生所述錯誤時將所述計數的次數重置為0，在所述計數的次數達到規定的閾值的情況下，不將所述錯誤解除信號發送至所述逆變器裝置。

11.一種真空泵，其特征在于，具有：

對氣體進行排氣的泵組件；

驅動所述泵組件的馬達；

向所述馬達提供頻率可變的交流電的逆變器裝置；以及

控制所述逆變器裝置的控制裝置，

在發生了錯誤的情況下，所述逆變器裝置停止自身的運轉，

所述控制裝置在所述逆變器裝置的運轉停止后使該逆變器裝置立即重啟，在設定時間內發生的錯誤的次數達到規定的閾值的情況下，不使所述逆變器裝置重啟。

12.根據權利要求11所述的真空泵，其特征在于，

所述控制裝置構成為，具有計測時間的多個計時器，所述多個計時器的臺數與從所述規定的閾值減去1而得到的數值相等，所述多個計時器的每一個分別在所計測的時間達到所述設定時間時結束時間的計測，

所述控制裝置在每當錯誤發生時使所述多個計時器中的某一個啟動，

在發生了錯誤時全部的所述多個計時器均正在執行時間的計測的情況下，所述控制裝置不使所述逆變器裝置重啟。