[發(fā)明專利]一種傳感器元件的制造方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201410644804.5 | 申請日： | 2014-11-14 |
| 公開（公告）號： | CN104391008A | 公開（公告）日： | 2015-03-04 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 禹勝林 | 申請（專利權(quán)）人： | 無錫信大氣象傳感網(wǎng)科技有限公司 |
| 主分類號： | G01N27/00 | 分類號： | G01N27/00;G01N27/409 |
| 代理公司： | 南京經(jīng)緯專利商標(biāo)代理有限公司 32200 | 代理人： | 張惠忠 |
| 地址： | 214135 江蘇省無錫市無錫國家高新技*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 傳感器 元件 制造 方法 | ||
1.一種傳感器元件的制造方法，其特征在于，包括以下步驟：
1）將加熱器調(diào)至150-200℃，在外側(cè)覆蓋板上印制聚酰亞胺薄膜、云母板石棉等絕緣層材料，烘干5-8小時(shí)得到絕緣的外側(cè)覆蓋板；
2）設(shè)定外側(cè)覆蓋板和電極基片之間的距離為2-4cm，作為間隔反應(yīng)帶；
3）在間隔反應(yīng)帶內(nèi)側(cè)均勻地填充一層3-5mm厚度的固形材料，間隔反應(yīng)層內(nèi)剩余的空間用作氣體通道；固形材料的主要成分為丙烯類樹脂和密封性好且耐高溫的石墨，丙烯類樹脂的含量為?80-95wt%，石墨的含量為?5-20wt%；
4）將氣體敏感涂料加熱至90-120℃，壓制在半導(dǎo)體電子元件一側(cè)，固定于電極基片上；
5）將載有半導(dǎo)體電子元件的電極基片整體固定于氣體通道的中央，氣體敏感層正對氣體輸入方向；
6）按順序擺放、組裝后，在50-85℃下熱壓燒制，常溫下冷卻8-12小時(shí)，得到氣體傳感器元件。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種傳感器元件的制造方法，其特征在于，所述半導(dǎo)體電子元件含有氣體敏感層，所述氣體敏感層正對氣體輸入方向。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種傳感器元件的制造方法，其特征在于，所述氣體敏感層為對氮?dú)饣蜓鯕饷舾械拿舾心ぁ?/p>
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種傳感器元件的制造方法，其特征在于，所述半導(dǎo)體電子元件的上下各有一層絕緣層。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種傳感器元件的制造方法，其特征在于，所述氣體敏感層為有機(jī)聚合物或超分子化合物。
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