[發明專利]基于襯里的存儲系統和輸送材料的方法

有效

• 申請號: 201410643800.5
• 申請日: 2010-07-09
• 公開（公告）號: CN104816877B
• 公開（公告）日: 2018-02-02
• 發明（設計）人: G·湯姆;T·鮑姆;M·庫茨;J·孟寧;G·尼爾森;D·李;W·劉;K·金;K·博格斯;R·奇斯姆
• 申請（專利權）人: 恩特格里斯公司
• 主分類號: B65D77/04
• 分類號: B65D77/04;B65D25/14;B65D23/02;B65D85/84
• 代理公司: 北京律盟知識產權代理有限責任公司11287
• 代理人: 齊楊

本申請是名稱為“基于襯里的存儲系統和將流體材料輸送給半導體工藝的方法”、國際申請日為2010年7月9日、國際申請號為PCT/US2010/041629、國家申請號為201080039871.4的發明專利申請的分案申請。

相關申請的交叉引用

本申請根據35 U.S.C.§119(e)要求2009年7月9日提交的美國臨時申請No.61/224,274、2009年8月24日提交的美國臨時申請No.61/236,295、2009年10月15日提交的美國臨時申請No.61/251,870以及2010年1月14日提交的美國臨時申請No.61/294,928的優先權，這些申請的全部公開內容通過參引的方式并入本文。

技術領域

本公開涉及基于襯里的存儲和分配系統。更具體地，本公開涉及基本剛性的容器、可收縮襯里、和柔性支撐或無支撐襯里以及用于制造它們的方法。本公開還涉及用于限制在襯里中的阻塞的方法。

背景技術

多種制造工藝需要使用超純液體，例如酸、溶劑、堿、光致抗蝕劑、漿料、清洗配料、摻雜劑、無機物、有機物、有機金屬和生物溶液、藥品以及放射性化學品。這些應用要求在超純液體中的顆粒的數量和尺寸最小。具體地，由于在微電子制造工藝的多個方面中使用超純液體，因此半導體制造商已經建立起用于處理化學品和化學處理設備的嚴格的顆粒濃度規定。需要這些規定是因為如果在制造過程期間使用的液體含有高水平的顆粒或氣泡，則顆粒或氣泡可能沉積在硅的固體表面上。這又能夠導致產品的故障以及降低質量和可靠性。

因此，這種超純液體的存儲、運輸和分配需要能夠對所保持的液體提供充分防護的容器。在工業中通常使用的兩種類型的容器是由玻璃或塑料制成的簡單的剛性壁容器以及基于可收縮襯里的容器。剛性壁容器由于它們的物理強度、厚壁、便宜成本以及易于制造而是常規使用的。但是，這種容器在壓力分配液體時能夠引入氣-液界面。這種壓力增大能夠導致氣體溶解到容器中所保持的液體(例如光致抗蝕劑)內，并且能夠在分配鏈中引致在液體中產生非期望的顆粒和氣泡。

可選地，基于可收縮襯里的容器例如由ATMI公司銷售的分配系統能夠通過在分配的同時通過氣體加壓到襯里上而非直接加壓到容器中的液體上來減小這種氣-液界面。但是，已知的襯里可能不能提供抵抗環境條件的充分防護。例如，現有的基于襯里的容器可能不能保護所保持的液體抵抗有時由振動(例如由容器的運輸導致的振動)引起的彈性形變所導致的針孔穿刺和焊縫裂紋。來自運輸的振動能夠使襯里在源頭與最終目的地之間彈性形變或撓曲很多次(例如，幾千到幾百萬次)。振動越大，產生針孔和焊縫裂紋可能性就越大。導致針孔和焊縫裂紋的其他原因包括容器的撞擊影響、下落、或大振幅運動。氣體可以通過針孔或焊縫裂紋被引入，由此隨著時間污染所保持的液體，這是由于氣體將能夠進入溶液內并且作為氣泡出現在晶片上。

另外，可收縮襯里構造為填充特定量的液體。但是，襯里沒有完全配合在它們相應的外部容器內，這是由于在將襯里裝配到容器內部時在襯里中產生折疊部。折疊部可以阻止液體填充襯里中由折疊部所占據的空間。因此，當容器填充特定量的液體時，液體趨于溢出容器，從而導致液體的損失。如先前闡釋的，這種液體通常是超純液體，例如酸、溶劑、堿、光致抗蝕劑、漿料、清洗配料、摻雜劑、無機物、有機物、有機金屬和生物溶液、藥品以及放射性化學品，它們可能是非常昂貴的，例如大約$2,500/L或更貴。由此，即使小量的溢出也是非期望的。

由此，在本領域中存在對更好的用于超純液體的襯里系統的需求，該襯里系統不包括由現有的剛性壁容器和基于可收縮襯里的容器所呈現的缺點。在本領域中存在對基本剛性可收縮襯里和柔性支撐或無支撐襯里的需求。在本領域中存在對基于襯里的存儲和分配系統的需求，該系統解決與針孔、焊縫裂紋、氣體壓力飽和以及溢出相關的問題。在本領域中存在對基于襯里的存儲和分配系統的需求，該系統解決與在襯里中的過多的折疊部相關的問題，過多的折疊部能夠導致在襯里內另外俘獲的氣體。在本領域中還存在對構成為使得阻塞被限制或消除的襯里的需求。

發明內容

本公開在一個實施例中涉及基于襯里的存儲系統，所述存儲系統包括包裝件和襯里。所述襯里可以設置在所述包裝件內。所述襯里可以具有形成所述襯里的內腔的基本剛性的襯里壁，所述剛性的襯里壁具有這樣的厚度，即，該厚度使得所述襯里在擴展狀態下基本自支承，但是在小于大約137895N/m²(20psi)的壓力下可收縮以將流體從所述內腔中分配。