[發明專利]一種顯示基板及其制備方法、顯示裝置

有效

• 申請號: 201410643149.1
• 申請日: 2014-11-07
• 公開（公告）號: CN104393019B
• 公開（公告）日: 2017-11-10
• 發明（設計）人: 李旭遠
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司
• 主分類號: H01L27/32
• 分類號: H01L27/32
• 代理公司: 北京天昊聯合知識產權代理有限公司11112
• 代理人: 彭瑞欣,陳源

1.一種顯示基板，其特征在于，包括襯底基板和位于所述襯底基板之上的柵線和數據線，所述柵線和所述數據線限定像素單元，所述像素單元包括薄膜晶體管和像素電極，所述薄膜晶體管包括柵極、有源層和源漏極；

所述襯底基板上還設置有輔助層，所述輔助層上設置有第一凹槽，所述柵極和所述柵線位于所述第一凹槽內，

所述柵極和所述柵線的頂部的寬度大于所述第一凹槽的頂部的寬度；

所述顯示基板還包括與所述柵極同層設置的柵極金屬，所述源漏極中的漏極通過第一過孔與所述柵極金屬電連接。

2.根據權利要求1所述的顯示基板，其特征在于，所述輔助層的材料為樹脂或聚酰亞胺。

3.根據權利要求1所述的顯示基板，其特征在于，所述柵極和所述柵線的厚度大于所述第一凹槽的深度。

4.根據權利要求3所述的顯示基板，其特征在于，所述柵極和所述柵線的厚度為所述第一凹槽的深度的1.25倍。

5.根據權利要求4所述的顯示基板，其特征在于，所述柵極和所述柵線的厚度范圍為400-1500nm，所述第一凹槽的深度范圍為320-1200nm。

6.根據權利要求1所述的顯示基板，其特征在于，所述柵極和所述柵線的頂部的寬度比所述第一凹槽的頂部的寬度大0.5-3μm。

7.根據權利要求6所述的顯示基板，其特征在于，所述柵極和所述柵線的頂部的寬度比所述第一凹槽的頂部的寬度大1-2μm。

8.一種顯示裝置，其特征在于，包括權利要求1至7任一所述的顯示基板。

9.一種顯示基板的制備方法，其特征在于，包括：

在襯底基板上形成輔助層，所述輔助層上設置有第一凹槽；

在所述第一凹槽內形成柵極和柵線，所述柵極和所述柵線的頂部的寬度大于所述第一凹槽的頂部的寬度；

在所述柵極的上方形成有源層；

在所述襯底基板的上方形成源漏極和數據線，所述源漏極位于所述有源層之上；

在所述襯底基板的上方形成像素電極。