[發明專利]大尺寸微觀仿真模型制作方法

有效

• 申請號: 201410638167.0
• 申請日: 2014-11-07
• 公開（公告）號: CN105628577B
• 公開（公告）日: 2018-10-30
• 發明（設計）人: 陳霆;陳亞寧;耿建梅;王曦;馬炳杰;范菲;楊海博;蘇法卿;劉津;姚風英;王磊;李繼山;張玉利;劉麗;孟小海
• 申請（專利權）人: 中國石油化工股份有限公司;中國石油化工股份有限公司勝利油田分公司地質科學研究院
• 主分類號: G01N15/08
• 分類號: G01N15/08
• 代理公司: 濟南日新專利代理事務所 37224
• 代理人: 崔曉艷

1.大尺寸微觀仿真模型制作方法，其特征在于，該大尺寸微觀仿真模型制作方法包括：

步驟1，根據研究需要，設定技術指標，制作大尺寸微觀仿真模型的底版；

步驟2，利用底版對大尺寸成品鉻版進行光刻、顯影和清洗；

步驟3，根據技術指標要求，選擇適合的腐蝕試劑，對顯影后的鉻版進行刻蝕；

步驟4，初步清洗刻蝕好的鉻版，然后進行打孔操作，制作實驗所需的進、出口；

步驟5，將制備好的大尺寸微觀仿真模型的鉻版進行反復清洗，保證清潔度；

步驟6，將大尺寸微觀仿真模型進行高溫加熱粘合；

在步驟1中，制作大尺寸微觀仿真模型的底版的材料為石英玻璃或派熱克斯7740玻璃；

在步驟3中，當需要進行深度刻蝕、毛細管刻蝕時，以HF和NH₄F的混合液為刻蝕試劑，HF：NH₄F＝0.5-0.75:0.5-0.75摩爾比，清洗間隔時間為20h；

在步驟6中，將大尺寸微觀仿真模型水平放置到大尺寸微觀仿真模型專用平臺上，把大尺寸微觀仿真模型平臺和模型一起放到數控高溫爐中，進行高溫加熱粘合；低滲透模型采用690℃，三次燒制粘合方法；高滲透模型采用698℃，兩次燒制粘合方法；該大尺寸微觀仿真模型專用平臺表面平整度在3μm以內，并且在800℃高溫不變形。

2.根據權利要求1所述的大尺寸微觀仿真模型制作方法，其特征在于，在步驟3中，當需要進行毛細管刻蝕時，以HF和HNO₃的混合液為刻蝕試劑，HF：HNO₃＝0.5-0.75:0.5摩爾比，清洗間隔時間為20h。

3.根據權利要求1所述的大尺寸微觀仿真模型制作方法，其特征在于，在步驟3中，當需要進行中深度刻蝕、毛細管刻蝕時，以HF、NH₄F和HN0₃的混合液為刻蝕試劑，HF：NH₄F：HNO₃＝0.75-1:0.5:0.5摩爾比，清洗間隔時間為20h。

4.根據權利要求1所述的大尺寸微觀仿真模型制作方法，其特征在于，在步驟3中，當需要進行深度刻蝕時，以HF、NH₄F和HCL的混合液為刻蝕試劑，HF：NH₄F：HCL＝0.75:0.5:0.5摩爾比，清洗間隔時間為20h。

5.根據權利要求1所述的大尺寸微觀仿真模型制作方法，其特征在于，在步驟3中，刻蝕溫度范圍為20-50℃。

6.根據權利要求1所述的大尺寸微觀仿真模型制作方法，其特征在于，該大尺寸微觀仿真模型制作方法還包括，在步驟6之后，在大尺寸微觀仿真模型燒制完成后，在顯微鏡下觀察喉道的刻蝕質量。