[發明專利]玻璃基板清洗箱及清洗裝置在審
| 申請號: | 201410636109.4 | 申請日: | 2014-11-11 |
| 公開(公告)號: | CN104525541A | 公開(公告)日: | 2015-04-22 |
| 發明(設計)人: | 李亮亮;鄭載潤;王世凱;金童燮;梁亞東;王明明 | 申請(專利權)人: | 合肥鑫晟光電科技有限公司;京東方科技集團股份有限公司 |
| 主分類號: | B08B11/04 | 分類號: | B08B11/04;B08B13/00 |
| 代理公司: | 北京中博世達專利商標代理有限公司 11274 | 代理人: | 申健 |
| 地址: | 230011 安徽省合肥*** | 國省代碼: | 安徽;34 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 玻璃 清洗 裝置 | ||
技術領域
本發明涉及玻璃基板的清洗技術領域,尤其涉及一種玻璃基板清洗箱及清洗裝置。
背景技術
TFT-LCD(Thin?Film?Transistor-Liquid?Crystal?Display,薄膜晶體管液晶顯示器)的Array(陣列)生產工藝過程中,需對玻璃基板進行清洗,所以玻璃的清洗能力對整個液晶顯示器的制程是至關重要的,通常傳統的清洗裝置主要包括DET(Detergent?Tank,清洗箱),采用這種清洗箱清洗玻璃基板的過程中,由于清洗劑本身化學特性的問題很容易產生泡沫,部分泡沫會隨氣體被帶出清洗箱外,從而增加了藥液的損失量,導致藥液使用時間短。
發明內容
本發明的實施例提供一種玻璃基板清洗箱,能夠解決箱體內泡沫隨氣體排出箱體外造成的藥液浪費及使用時間短的技術問題。
為達到上述目的,本發明的實施例采用如下技術方案:
本發明提出一種玻璃基板清洗箱,所述清洗箱由頂面、底面和側面圍成密封的箱體,所述箱體上設有進水孔、出水孔和排氣孔,所述箱體的兩個相對內側面之間固設有隔板,所述隔板將所述箱體分割成兩個底部相連通的腔體,所述隔板的上邊緣高度高于所述箱體內清洗液液面的高度。
進一步的,所述箱體的兩個相對內側面上對稱的固接有固定夾,所述隔板插入到所述固定夾內。
進一步的,所述隔板的上邊緣高于所述箱體內預定清洗液的上限高度值。
進一步的,所述隔板的下邊緣低于所述箱體內預定清洗液的下限高度值。
進一步的,所述排氣孔位于所述箱體的所述頂面或所述側面的上邊側。
進一步的,所述進水孔位于所述箱體的所述頂面,所述進水孔內插裝有進水管。
進一步的,所述進水管的管口伸入到所述箱體的底部。
進一步的,所述出水孔位于所述箱體的頂面,所述出水孔內插裝有回水管,所述回水管的管口伸入到所述箱體的底部。
進一步的,所述進水管的底部管口與所述回水管的底部管口位于隔板的同一側,且兩者與排氣孔位于隔板的異側。
本發明實施例中的隔板將玻璃基板清洗箱的箱體分割成兩個底部相連通的腔體,箱體內的清洗液可以在清洗箱的底部自由流通,由于所述隔板的上邊緣高度高于所述箱體內清洗液液面的高度,隔板的上部邊緣將清洗液內的泡沫擋住,避免泡沫進入到具有排氣孔的側的清洗箱腔體內,從而不會使泡沫隨氣體排出到箱體外部,能夠有效減少藥液的浪費,進而延長藥液的使用時間。
本發明還提出一種玻璃基板清洗裝置,此清洗裝置設置有上述玻璃基板清洗箱。
本發明實施例提供的玻璃基板清洗裝置所產生的有益效果與上述玻璃基板清洗箱所產生的有益效果相同,在此不再贅述。
附圖說明
圖1為本發明實施例一,玻璃基板清洗箱的立體局部剖視結構示意圖;
圖2為本發明實施例一,玻璃基板清洗箱的主視局部剖視結構示意圖。
附圖標記說明:
1、箱體,2、出水孔,2'、回水管,3、固定夾,4、隔板,
5、進水孔,5'、進水管,6、排氣孔。
具體實施方式
本發明的中心思想是,在玻璃基板清洗箱內設置隔板,隔板將箱體分割成兩個底部相連通的腔體,從而使隔板阻止泡沫進入到設有排氣孔的腔體內,避免泡沫在排氣的過程中隨氣體而排出箱體之外,進而減少藥液浪費。
下面結合附圖對本發明實施例玻璃基板的清洗箱進行詳細描述。
實施例一
本實施例是一種玻璃基板清洗箱,如圖1和圖2所示,清洗箱由頂面、底面和側面圍成密封的箱體1,箱體1上設有進水孔5、出水孔2和排氣孔6,箱體1的兩個相對內側面之間固設有隔板4,隔板4將箱體1分割成兩個底部相連通的腔體,隔板4的上邊緣高度高于箱體1內清洗液液面的高度。
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