[發明專利]原子氧束流能量測試系統

有效

• 申請號: 201410635984.0
• 申請日: 2014-11-05
• 公開（公告）號: CN104375161B
• 公開（公告）日: 2017-02-15
• 發明（設計）人: 姜海富;李濤;于兆吉;姜利祥;周晶晶;于錢
• 申請（專利權）人: 北京衛星環境工程研究所
• 主分類號: G01T1/29
• 分類號: G01T1/29
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種地面模擬設備中原子氧束流能量測試系統，包括用于提供真空環境的真空容器，原子氧束流輸入窗口、粒子偏離電極、粒子準直口、速度切割器、二維移動機構、抽氣系統、控制系統、氣體過濾系統和用于粒子成分診斷的質譜儀，真空容器一側壁上設置有原子氧束流輸入的輸入窗口，輸入窗口相對的真空容器另一側壁上設置有質譜儀，原子氧束流經輸入窗口附近設置的粒子偏離電極作用偏轉原子氧束流中的帶電粒子，并通過粒子準直口限定原子氧束流的飛行方向，原子氧束流的飛行方向上設置有速度切割器以對原子氧束流能量進行篩選，速度切割器支撐在二維移動機構上并隨其進行二維運動，速度切割器由控制系統控制其轉速、相位，二維移動機構由控制系統控制其運動；真空容器還設置有抽氣系統和去除殘余低能粒子的氣體過濾系統。

2.如權利要求1所述的地面模擬設備中原子氧束流能量測試系統，其中，真空容器用于提供10^-2～10^-5Pa的真空環境。