[發(fā)明專利]稀土拋光液及其制備方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201410634606.0
• 申請(qǐng)日: 2014-11-12
• 公開（公告）號(hào): CN104479555A
• 公開（公告）日: 2015-04-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 岑仲浙;周夢(mèng)丹
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 諾軒化學(xué)科技（上海）有限公司
• 主分類號(hào): C09G1/02
• 分類號(hào): C09G1/02
• 代理公司: 上海金盛協(xié)力知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31242
• 代理人: 羅大忱

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種稀土拋光液及其制備方法，特別涉及一種適用于集成電路、平面顯示和光學(xué)玻璃等電子信息產(chǎn)業(yè)精密器件的表面拋光的鈰基混合稀土拋光液及其制備方法。

背景技術(shù)

目前，各種玻璃材料被廣泛使用，而這些材料被應(yīng)用前都需經(jīng)過(guò)必要的表面拋光。早期主要使用氧化鋯、氧化鐵或二氧化硅等材料對(duì)各種玻璃表面進(jìn)行拋光，近年來(lái)，從拋光效率及精度方面來(lái)考慮，稀土氧化物(特別是氧化鈰)為主要成分的拋光材料被認(rèn)為更適合于玻璃材料的表面拋光。

隨著電子信息技術(shù)的迅猛發(fā)展，透鏡、平板玻璃、液晶顯示器(LCD)、眼鏡、光學(xué)元件及陶瓷材料等玻璃基材的需求大大增加，對(duì)于拋光材料的精度和拋光速率也提出了更高的要求，這就促使生產(chǎn)廠家不斷提高產(chǎn)品檔次，以適應(yīng)新技術(shù)新產(chǎn)品的要求，稀土拋光粉已成為當(dāng)今適用范圍廣、用量大、技術(shù)含量高的稀土應(yīng)用產(chǎn)品。

稀土拋光粉在使用過(guò)程中，通常是將拋光粉分散在水等分散介質(zhì)中形成漿液的狀態(tài)下使用。鑒于稀土拋光粉真密度較大，導(dǎo)致拋光粉在使用過(guò)程中容易沉淀，導(dǎo)致拋光粉的利用率較低。一般地粉末被直接供給研磨液?供給槽，所以在容器中不容易分散，作為結(jié)果也存在難以穩(wěn)定地得到研磨性能的問(wèn)題。

為了消除上述不理想的情況，近年采用在拋光材料漿液中添加抑制拋光材料漿液中的研磨材料粒子沉降的所謂分散劑的方法。利用該方法能夠更長(zhǎng)時(shí)間地維持通過(guò)攪拌等操作而分散的研磨材料粒子的分散狀態(tài)。

CN101671525A公開了一種改善稀土拋光粉懸浮性的方法。在稀土拋光粉成品中加入分散助劑使顆粒表面潤(rùn)濕形成吸附層，阻礙其沉降，其具體方法是:按重量份額稱取800-1200份稀土拋光粉(D50:1.10-1.30μm，D100<5.60μm)，加入1-10份分散助劑，混合均勻即成為懸浮性得到改善的稀土拋光粉。所用的分散助劑可以是亞甲基雙甲基荼磺酸納或乙基茶磺酸納的一種或它們的組合物。

CN1300277C公開了一種研磨材料。以含有氧化鈰的稀土金屬類氧化物為主要組分的玻璃用研磨材料，它能使磨粒的分散性良好、且降低磨粒沉淀物的硬度、并能穩(wěn)定地實(shí)現(xiàn)高的研磨效率。本發(fā)明是以含有氧化鈰的稀土金屬類氧化物為主要組分的研磨材料，其中含有固化防止劑和分散劑，所述的固化防止劑用于在該研磨材料磨粒分散到分散介質(zhì)時(shí)使該研磨材料磨粒的沉淀物變軟，所述的分散劑用于使該研磨材料磨粒分散于分散介質(zhì)中。所述的固化防止劑用于在該研磨材料磨粒分散到分散介質(zhì)時(shí)使該研磨材料磨粒的沉淀物變軟，它使用結(jié)晶纖維素、磷酸氫鈣、合成二氧化硅中?的任何一種。所述的分散劑用于使該研磨材料磨粒分散于分散介質(zhì)中，它使用六偏磷酸鈉或焦磷酸鈉。

雖然目前的拋光粉中添加了分散劑，但是粉末狀的稀土拋光材料制品，進(jìn)行實(shí)際的研磨時(shí)需要定期地進(jìn)行計(jì)量規(guī)定量的研磨材料粉末、并向研磨材料供給槽供給的作業(yè)。在這樣的粉未操作中，存在發(fā)生粉塵的問(wèn)題和伴隨著計(jì)量的精度難以保證的問(wèn)題。

CN?102337086A提供了一種氟氧化鑭鈰稀土拋光液及其制備方法，所述氟氧化鑭鈰稀土拋光液，以水為載體，含有氟氧化鑭鈰拋光粉、分散劑和pH值調(diào)節(jié)劑:分散劑的含量為拋光液總質(zhì)量的0.5～1wt％,pH值調(diào)節(jié)劑的用量，以拋光液pH值達(dá)到8.5-10.0為準(zhǔn)，所述拋光液質(zhì)量固含量為25-45wt％，鈰占鑭鈰總質(zhì)量的60-80wt％，氟的質(zhì)量分?jǐn)?shù)為氟氧化鑭鈰總質(zhì)量的3-5wt％。

CN?1969026A提供一種以高濃度含有以氧化鈰為主成分的研磨材料，同時(shí)具有優(yōu)異的品質(zhì)穩(wěn)定性和流動(dòng)性的研磨膏。本發(fā)明的流動(dòng)性研磨膏，按固體成分濃度計(jì)含有30-95質(zhì)量％的以氧化鈰為主成分的研磨材料，并且膏的表面亮度的變化率為10％/小時(shí)以下。

CN?101522567A公布了鈰氧化物粒子的液體懸浮液和粉末、其制備方法及其在拋光中的用途本發(fā)明涉及鈰氧化物粒子的懸浮液，其中該粒子(二級(jí)粒子)具有不超過(guò)200納米的平均尺寸，所述二級(jí)粒子由平均尺寸不超過(guò)?100納米且標(biāo)準(zhǔn)偏差值不超過(guò)所述平均尺寸值的30％的初級(jí)粒子構(gòu)成。這種懸浮液由包含鈰IV或過(guò)氧化氫的鈰III鹽溶液制成，使該溶液在硝酸根離子存在下在惰性氣氛中與堿接觸；將由此獲得的介質(zhì)在惰性氣氛中熱處理，然后酸化和洗滌。通過(guò)該懸浮液的干燥和鍛燒獲得粉末。該懸浮液和粉末可用于拋光。